光刻机+机器人，成功开发了光刻机平行光源系统，产品已进入半导体光刻领域配套检测产

UC年度榜单 2023-08-30 20:03:28

光刻机+机器人，成功开发了光刻机平行光源系统，产品已进入半导体光刻领域配套检测产业，精密光学元件用于机器人视觉领域，这家次新标的获2家机构净买入

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