从14nm到7nm：国产设备在芯片大基金加持下加速渗透 芯片是中美贸易战核心议题之一，北京正全力推进半导体供应链自主化。 据路透社30日报道，中方近期要求境内芯片制造商扩产时需使用50%国产设备（虽无明文规定，但申请建/扩建厂房时需提交半数设备为国产的采购证明），这是其摆脱对外国技术依赖的关键举措。 2023年美国限制对华出口先进AI芯片及半导体设备后，国内制造商在可选购美日韩欧设备的领域更倾向选择国产设备。 目前，未达50%门槛的项目多被驳回，但高阶芯片产线因国产设备未普及可弹性放宽。知情人士称，政策最终目标是实现设备100%国产化。 政策推动下，本土设备商快速崛起：北方华创的蚀刻设备已进入中芯7纳米产线测试，14纳米产线已部署其设备；其2025年专利申请779项（2020-2021年的2倍），中微半导体今年也申请259项专利。 此外，北方华创开发的静电吸盘填补了科林研发等设备零件维修缺口，正逐步替代美日厂商在高端蚀刻设备领域的主导地位。 数据显示，中国国企今年订购本土光刻机及零件421笔（总值8.5亿元），创历史新高；“大基金3”（3440亿元）等资金支持进一步助推产业。 分析师指出，光阻去除与清洗设备自给率已达50%（原日企主导），未来本土设备市场或由北方华创等2-3家大厂主导。 图片为，美国2023年起陆续对中国大陆发布技术出口限令，甚至禁止向中国大陆市场贩卖高端芯片。此举让北京当局加速推动半导体产业链自给自足。（资料照／路透）
