如今随着工业的快速发展，各行各业对于精密测量技术的要求早已是变得越来越高。尤其是位移测量技术作为当前精密测量的基础所在，不仅需要具备高精度，同时还需要具备对环境的广泛适用性。而光谱共焦传感器具备了高度的精确性以及适应性等优点，在众多领域得到了广泛应用。
在薄膜材料厚度测量的检测应用中
考虑到光谱共焦传感器对于被测物体不同，反射面所反射出来的单色光的波长存在明显的差异性，也正是基于这样的特点，就能够根据最终的数据检测出材料的厚度，因此具备明显的优势。比如像生物薄膜以及光学玻璃不同的反射面，所反射出的波长只需通过一个传感器就能够及时推算其具体的厚度，并且其精度可达到微米级也不会对被测物体的表面造成任何损伤。
对物体轮廓以及几何尺寸测量的应用
尤其是随着国内加工行业的快速发展，在部分特定领域对B加工物体的精密度要求则变得越来越高，很多也达到了微米级别。而一些精密光学元件也需要通过非接触的轮廓形貌测量，这样才能够有效避免在检测的过程中对其表面造成损伤。而通过传统的传感器则难以解决这一难题，但是通过运用光谱公交传感器则能够很好地很好地将这一问题进行解决，能够实现超精密零件的二维尺寸测量。随着科技的不断发展，该项技术在线宽测量那里测试等相关领域都有着更为广泛的应用前景。
