美国封锁没用,中国芯片没崩:制造核心技术和极紫外光源双突破!

蔷薇的日记 2024-11-19 16:39:56

虽然美国对中国芯片业的打压在不断升级加码,但是中国芯片业几年下来,似乎越来越好了!

最近有三个消息可以反映中国芯片业的现况!

一、2024年1-7月中国芯片出口比同期增长25.8%

经受了去年市场压力和行业洗礼之后,2024年以来我国集成电路行业逐渐恢复“活力”。

国家统计局发布数据显示,今年1-7月份,我国集成电路产量达2445亿块,同比增长29.3%。海关总署发布的统计数据,今年前7个月,我国集成电路出口总额达到6409.1亿元,同比增长25.8%,累计进口额同比增长14.4%。

这些数据表明在中低端芯片,中国芯片并未受到美西方打压的影响。

二、我国半导体制造核心技术实现突破

在高端芯片,比如用于AI方面的高端GPU,虽然中国还受到较大限制,但并不说明中国就会坐以待毙。

前几天,澎湃新闻报道,“我国已全面掌握功率半导体高能氢离子注入核心技术和工艺”。

氢离子注入是半导体晶圆制造中仅次于光刻的重要环节,在多种多种类型半导体产品制造过程中起着关键作用,主要用于高端芯片的制备上。这一技术的突破,有利于我们的高压功率芯的国产化。

功能率芯片是可以处理高电流和高电压的芯片,通常用于电源管理、电机驱动和照明等,广泛应用于多个领域,包括无线通信、医学、工业自动化、音频放大、电力传输、电磁场感应等。

而高压功率芯片广泛应用于智能电网、轨道交通、风力发电等市场。氢离子注入技术的突破,使得中国摆脱了600V以上高压功率芯片长期依赖进口的局面。

三、我国研制出极紫外源新专利方案

中国工程科技知识中心的消息,上海微电子公开了一项名为“极紫外辐射发生装置及光刻设备”的发明专利,该专利的申请日期为2023年3月9日,涵盖了极紫外辐射发生装置及其在光刻设备中的应用。

极紫外光刻技术的设备,就是大家经常提到的EUV光刻机,目前ASMLEUV光刻机使用的极紫外光源技术原理是用高功率激光击打金属锡,产生等离子体,从而辐射出极紫外光。ASML采用的这种光源方案,在轰击锡时产生的锡碎屑(带电粒子)向周围扩散时,极易污染收集器镜,会影响收集器镜的使用寿命。

而上海微的专利提出了一种创新方案,先利用电场约束带电粒子的运动轨迹,促进带电粒子被高效收集至电极板上,再利用氢自由基与带电粒子反应形成无害气体并排出系统,进一步净化了腔体环境;同时通入惰性气体在腔体内可形成稳定流场,以阻止带电粒子扩散至收集器镜。

这种方案可以高效且简便的收集带电粒子,以提高光刻机收集器镜的使用寿命。

上海微的这项专利对我国解决EUV光刻机具有重要意义!

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