过去我国ITO靶材的研发，滞后国外20年，生产的ITO靶材密度低，无法满足高端显示器行业，对于靶材质量的要求，因此90%都需要从国外进口；但现在这一局面发生了改变，何季麟院士团队研发的ITO靶材，不仅重要技术指标达到国际水准，实现了进口替代，而且让日本靶材市场降价80%！原来卖中国每公斤8000元，打破垄断之后，价格直接跌到每公斤1300元。

近年来，我国平板显示面板产业快速发展，产能已位居世界第一，而制造面板就需要用到一种非常重要的材料--ITO。ITO是氧化铟锡的简称，是平板显示面板背后的一层“涂装”。

比如说我们的平板显示屏，它看起来就是一块玻璃，但却能导电发光，呈现出文字、静态和动态的图案。需要说明的是，正常的玻璃是不可能导电的，之所以能实现这一切，是因为其背后涂装了一层非常薄的透明导电膜，这层膜就是ITO薄膜。

它的背后藏着一块靶，这块靶就是ITO靶材。倘若没有这块靶，显示屏将无法展现。需要注意的是，靶材是半导体、显示面板的关键核心材料，存在工艺不可替代性。

而ITO的制成，就是氧化铟和氧化锡粉末，按一定比例混合后，经过一系列的生产工艺加工成型，再经过1600度的高温气氛烧结，形成的黑灰色陶瓷半导体。

ITO薄膜是利用ITO靶材作为原材料，通过磁控溅射，把ITO靶气化，溅渡到玻璃基板，或柔性有机薄膜上，最后制成显示屏。它的厚度仅有30纳米～200纳米，不仅具有导电性和透光性，而且还能隔离对人体有害的电子辐射、紫外线及远红外线。正因如此，我们生活中的电视机、电脑显示器、平板电脑、手机屏幕后，总能见到ITO靶材的身影，甚至它还活跃在太阳能电池、抗静电镀膜等领域。

由于我们起步较晚，所以这个领域一度是被日韩企业垄断，比如说烧结大尺寸ITO靶材，需要有大型的烧结炉。国外可以做宽1200毫米、长近3000毫米的单块靶材，国内只能造不超过800毫米宽的。

产出效率方面，日式装备月产量可达30吨至50吨，我们年产量只有30吨，而且进口高端靶材，价格也得“看人脸色”，这与我国是铟资源大国、平板显示产业产能世界第一的地位极不相称。

目前全球高端 ITO靶材供应商主要为：日本能源、东曹和三井矿业。国产化的难点在于，靶材成分的均匀化和高密度化，未实现根本性突破，总体的国产化率在35%左右。而ITO靶材有CF制程与 Array 制程。国产与进口的差距，主要是在密度和结瘤特性上。

而如今，这些技术难点都得到了解决。就在前不久，郑州大学何季麟院士研发的“平板显示用、高性能ITO靶材、关键技术及工程化”项目，荣获国家技术发明奖二等奖。该项目突破了卡脖子关键技术，实现了从无到有、自主研发再到并跑超越，打破了国外技术封锁，凭借自主创新力量，实现了大尺寸ITO靶材，全流程制备的国产化。

目前生产的ITO靶材，在国内首次成功应用于，京东方高世代TFT线，完成了进口替代。

与此同时，以国内晶联光电、阿石创、广东先导、映日科技为主的国产ITO靶材厂商，在技术创新、认证壁垒等环节持续突破，现已打入国内龙头企业的供应链。市场份额也在逐步提升。另外在国家政策的扶持下，2019 年起从美国、日本进口的靶材，需要缴纳 5-8%关税。这有助于促进国内下游厂商，优先选择国产ITO靶材产品。

何季麟院士团队的成功再次说明，要想解决卡脖子难题，只能靠自己，核心技术是求不来也买不来的，最后再次感谢何季麟院士团队，20多年的辛勤付出，没有你们，我们的国产平板显示厂商，只能继续看人脸色，忍受6倍多的垄断暴利价格,此致敬礼。