国产设备三巨头冲进全球前二十，美国卡脖子反而逼出新路子，接下来咋走？ 最近看到一份全球半导体设备商排行榜，中国有三家公司挤进了前二十，北方华创排第五，中微和上海微电子也在里面。这不是瞎凑数，是真家伙——北方华创现在能做刻蚀、镀膜、清洗、热处理，几乎一条芯片产线要用的前道设备，它都能拿得出手。去年14nm设备已经批量交货，5nm的也在台积电那边测试了。 中微更猛，专攻刻蚀机，硬是在5nm逻辑芯片和存储芯片超高深宽比结构上干出了量产设备。以前这活儿全靠美国和日本公司，现在它和别人并排站上了最前线。上海微电子虽然光刻机还在ArF/KrF成熟制程，但至少不是空白了，整条产线里终于有了“中国造”的光刻环节。 盛美搞清洗，华海清科做抛光（CMP），加起来刚好把前后道关键工序都补上了。单看一家公司可能还差点意思，但五家一起发力，沉积、刻蚀、清洗、抛光、光刻全都有国产货，客户想换回进口设备，都不太容易拆开换。 这背后不是靠喊口号喊出来的。美国禁运之后，国内晶圆厂没法买高端设备，只能把两成到三成的预算挪给国产厂家。订单来了，问题也来了，改完再试，试完再改，节奏比以前快了一倍。国家大基金三期和各地产业基金也真敢投，十年不催你挣钱，就让你扎扎实实搞研发。上海微电子光刻机干了二十年，没这耐心早散伙了。 中微的创始人是从海外回来的，带回来的不只是技术，还有怎么让机器在产线上不死机的“手感”。北方华创现在两万员工，中微两千八百多人，全是干活的人，不是只写PPT的。 当然，短板明摆着：EUV光刻机还是天堑，ASML一台顶几十家厂，高NA更是遥遥无期；北方华创设备里六成零件是国产的，但射频电源、真空泵、精密镜头这些，还得靠进口；EDA软件、光刻胶、电子特气这些配套，比设备还拖后腿。 中国现在占全球设备市场三分之一以上，495亿美元，世界第一大单一市场。ASML、应用材料、泛林这些公司，再不想着适配中国产线节奏，订单真会掉。Chiplet、先进封装这些新方向，也正在绕开EUV死磕，另起炉灶。 北方华创已经开始参与国际标准制定，中微专利超三千件，不是贴牌，也不是模仿着做。设备这事，最终拼的不是谁做得像，而是谁定义下一个芯片怎么造。 榜单只是个结果。人已经在路上了。
