好消息,光刻机突破了!日前,工信部发布了《首台重大技术装备推广应用指导目录2024版》,里面有大家非常关心的氟化氪和氟化氩光刻机。文中特别提到,首台是指国内实现重大技术突破,拥有知识产权,尚未取得明显市场业绩的装备产品。科普一下,氟化氪光刻机使用的是248nm波长的光源, 它能够实现350-180纳米水平的工艺节点。 而氟化氩光刻机则使用的是193nm波长的光源,它能够实现65纳米甚至是在45nm到10nm之间的制程工艺。如今,工信部亲自发文推广,至少说明光刻机的技术瓶颈已解决,可以大规模商用。这算是官宣了,总算是熬过来了。那些说给图纸我们,我们也造不出来的又“打脸了” 信息来源:工信部官网
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