2025年3月5日,杭州镓仁半导体有限公司宣布全球首颗8英寸氧化镓单晶衬底成功问世,标志着中国半导体产业在第四代材料领域实现跨越式突破。作为镓仁半导体的核心合作伙伴,武汉嘉仪通科技有限公司凭借自主研发的霍尔效应测试仪HET系列,为其氧化镓单晶产品提供了第三方检测支持,以高精度、多维度的电学性能数据验证了材料的产业化潜力。
针对8英寸氧化镓单晶衬底的导电型与UID两种晶体,武汉嘉仪通(Jouleyacht)霍尔效应测试仪通过范德堡法同步测定了电阻率、载流子浓度等关键参数:
导电型晶体:电阻率低至25mΩ·cm,载流子浓度达2.9×10¹⁸ cm⁻¹;
UID晶体:电阻率高达664mΩ·cm,载流子浓度仅6.9×10¹⁶ cm⁻¹。
武汉嘉仪通(Jouleyacht)子公司光谷薄膜为镓仁半导体氧化镓单晶衬底出具的检测报告
氧化镓作为超宽禁带半导体,其电学性能的稳定性直接影响器件可靠性。嘉仪通霍尔效应测试仪通过以下应用场景为产业升级提供支撑:
材料筛选:鉴别N/P型导电类型,评估晶体缺陷与掺杂均匀性;
工艺监控:实时反馈电阻率分布,指导单晶生长参数调整;
器件设计:提供迁移率与载流子浓度关联数据,缩短芯片研发周期;
合作共赢:推动国产半导体生态建设。
镓仁半导体8英寸氧化镓单晶的突破,不仅刷新了全球技术纪录,更验证了国产检测设备的国际竞争力。武汉嘉仪通(Jouleyacht)霍尔效应测试仪凭借在GaN、SiC等宽禁带材料领域的成熟经验,持续为氧化镓等第四代半导体产业化提供“中国方案”,助力构建从材料、设备到芯片的完整产业链。