中微半导体申请一种基片的预处理方法及等离子体刻蚀装置专利,提升基片预处理效率
金融界2025年2月22日消息,国家知识产权局信息显示,中微半导体设备(上海)股份有限公司申请一项名为“一种基片的预处理方法及等离子体刻蚀装置”的专利,公开号CN119495563A,申请日期为2023年8月。专利摘要显示,本发明公开...
【等离子体】新闻资讯
金融界2025年2月22日消息,国家知识产权局信息显示,中微半导体设备(上海)股份有限公司申请一项名为“一种基片的预处理方法及等离子体刻蚀装置”的专利,公开号CN119495563A,申请日期为2023年8月。专利摘要显示,本发明公开...
至少一组等离子体发生系统,所述等离子体发生装置采用电感耦合等离子体、电容耦合等离子体、远程等离子体源中的至少其中一种方式以向所述工艺腔室内输送等离子体;至少一组工艺气体输送系统,所述工艺气体输送系统连接至等离子...
金融界2025年2月20日消息,国家知识产权局信息显示,上海晶世创新材料科技有限公司取得一项名为“一种样品台均匀冷却装置和微波等离子体化学气相沉积系统”的专利,授权公告号CN222499363U,申请日期为2023年12月。专利摘要...
IT之家2月20日消息,法国原子能和替代能源委员会CEA当地时间18日宣布,由该机构运营的WEST托卡马克核聚变装置成功将等离子体状态维持了1337秒(IT之家注:即22分17秒),将中国EAST装置此前数周创下的 时间纪录延长了25%。...
金融界2025年2月19日消息,国家知识产权局信息显示,西安拾玖岁信息科技有限公司取得一项名为“等离子体发生器及等离子梳”的专利,授权公告号CN114900936B,申请日期为2022年5月。天眼查资料显示,西安拾玖岁信息科技有限公司...
金融界2025年2月15日消息,国家知识产权局信息显示,应用材料公司取得一项名为“碳硬掩模的等离子体增强化学气相沉积”的专利,授权公告号CN112041967B,申请日期为2019年3月。本文源自:金融界
金融界2025年2月14日消息,国家知识产权局信息显示,KOMICO有限公司取得一项名为“耐等离子体性涂布膜及其制备方法”的专利,授权公告号CN117888059B,申请日期为2023年9月。本文源自:金融界
金融界2025年2月13日消息,国家知识产权局信息显示,安徽华矽半导体科技有限公司取得一项名为“用于半导体设备的双电级静电吸盘及等离子体处理装置”的专利,授权公告号CN222440573U,申请日期为2024年5月。专利摘要显示,本...
天眼查资料显示,深圳市奥普斯等离子体科技有限公司,成立于2016年,位于深圳市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本1063.158万人民币,实缴资本511.485万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市奥普斯等离子...
金融界2025年2月11日消息,国家知识产权局信息显示,南京哲方环境科技有限公司申请一项名为“用于等离子体协同催化降解有机废气的催化剂及其制备方法”的专利,公开号CN119386863A,申请日期为2024年10月。专利摘要显示,本...
别管复杂的设备了,研究人员发现,二氧化碳纳米管只用微波就能产生自我维持的等离子体。一组科学家开发了一种特殊的二氧化碳衍生碳纳米管,当它暴露在标准微波炉的微波中时,几乎可以立即产生持续的等离子体。等离子体是使闪电...
IT之家2月10日消息,俄罗斯国家原子能公司(Rosatom)公布了一种等离子体电力火箭发动机,据称该发动机能够在短短一到两个月内将航天器送至火星。据俄罗斯Izvestia报道,与传统依赖燃料燃烧的火箭发动机不同,这种创新的推进...
最近,来自LamResearch、科罗拉多大学博尔德分校、美国能源部普林斯顿等离子体物理实验室(PPPL)的科学家们合作设计了一种新的蚀刻工艺。该方法使用氟化氢等离子体,将硅材料垂直通道的蚀刻效率提高了100%。只需要1分钟即可...
金融界2025年1月30日消息,国家知识产权局信息显示,新铂科技(东莞)有限公司申请一项名为“一种PVD镀膜设备的等离子体辅助清洗结构及其清洗方法”的专利,公开号CN119372591A,申请日期为2024年10月。专利摘要显示,本发明...
专利摘要显示,本申请属于金属粉末的加工技术领域,本申请公开了一种用于等离子体球化粉末的送粉方法,包括以下步骤:将粉末送入送粉管后,粉末沿着所述送粉管的送粉段以直线运动轨迹进行输送;随后粉末进入所述送粉管的出粉段...
金融界2025年1月29日消息,国家知识产权局信息显示,中国石油化工股份有限公司取得一项名为“复合型等离子体放电装置及利用该装置的废气处理方法”的专利,授权公告号CN113825294B,申请日期为2020年6月。天眼查资料显示,中国...
从而能够实现回收再利用废气中的等离子体,提升成膜原料的利用率,降低面板的制造成本。天眼查资料显示,乐金显示光电科技(中国)有限公司,成立于2018年,位于广州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的...
金融界2025年1月27日消息,国家知识产权局信息显示,重庆三和兴模具技术有限公司申请一项名为“一种模具钢低温等离子体辅助热处理工艺”的专利,公开号CN119351939A,申请日期为2024年11月。专利摘要显示,本发明涉及材料热...
本发明具备高耐久性以保护静电吸盘免受高能量等离子体的损害的优点。天眼查资料显示,青岛芯氟新材料科技有限公司,成立于2023年,位于青岛市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本400万人民币。通过天眼查大数据分析...
塞维利亚大学的SMART托卡马克通过创造其首个托卡马克等离子体实现了一个关键的里程碑,利用独特的负三角形提高了稳定性和效率。这一进展预示着核聚变能源前景光明,可能会彻底改变我们发电的方式。核聚变能的突破 SMART装置...
金融界2025年1月25日消息,国家知识产权局信息显示,上海邦芯半导体科技有限公司取得一项名为“一种电感耦合线圈、电感耦合等离子体源及等离子体处理装置”的专利,授权公告号CN118984520B,申请日期为2024年10月。天眼查资料...
本发明中,通过采用氩/氢或氢气等离子体法制备硅碳复合材料,能满足动力电池所需要的高能量密度,碳层厚度均匀、连续,且副产物氢气可循环使用,也可用于氢能燃料,使整体生产成本更低,更具经济性,氩/氢或氢气等离子体法制备...
金融界2025年1月25日消息,国家知识产权局信息显示,上海邦芯半导体科技有限公司取得一项名为“等离子体过滤装置及过滤方法”的专利,授权公告号CN118866420B,申请日期为2024年9月。天眼查资料显示,上海邦芯半导体科技有限...
进而防止因接触孔的顶面孔径过大而造成后续工艺中等离子体对半导体器件的损伤,提高半导体器件的电性和可靠性。天眼查资料显示,上海积塔半导体有限公司,成立于2017年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备...
金融界2025年1月25日消息,国家知识产权局信息显示,应用材料公司申请一项名为“具有多个射频网孔以控制等离子体均匀性的静电卡盘”的专利,公开号CN119340265A,申请日期为2019年2月。专利摘要显示,本公开涉及用于控制在基板...
专利摘要显示,本发明提供了一种用于等离子体刻蚀的气体、气体组合、刻蚀方法及半导体设备,属于等离子体刻蚀领域,主要利用在刻蚀过程中通过提供羰基卤化物、醛基卤化物、羧基卤化物中的一种或多种作为工艺气体,激发形成...
专利摘要显示,本申请提供一种激光泵浦等离子体光源,包括:扩束准直装置、反射镜、聚焦透镜、等离子体灯、第一功率探测器和第二功率探测器;入射激光经扩束准直装置中的第一透镜传输到反射镜,并经反射镜将入射激光反射到泵浦...
专利摘要显示,本实用新型提供了一种等离子体处理设备,属于等离子体刻蚀技术领域,为了解决反应腔上方功能拓展受限的技术问题,本技术方案包括:反应腔;气体喷淋头,其位于反应腔的上盖板下方,用于向反应腔通入工艺气体;...
中国的EAST项目创造了一项新的全球纪录,将高约束等离子体状态保持了17分钟以上,为未来通过模仿太阳的聚变过程来解决清洁能源问题铺平了道路。中国的实验先进超导托卡马克(EAST),也被称为“人造太阳”,创造了新的世界纪录...
负三角形度等离子体形状性能优异,能抑制将粒子和能量从等离子体中排出的不稳定性,防止对托卡马克壁造成严重破坏。此外,负三角形度还具有令人瞩目的功率处理能力。它拥有更大的偏滤器区域,便于分散废热,有利于未来更紧凑、...
2025年1月,合肥的实验性先进超导托卡马克(EAST)装置成功创造了1,066秒的等离子体运行时间,温度高达1亿摄氏度以上。这一记录不仅远超2023年EAST自身创下的403秒纪录,更是向未来聚变发电厂的商业化运行迈进了一大步。核聚变...
金融界2025年1月21日消息,国家知识产权局信息显示,上海凯来仪器有限公司申请一项名为“全自动激光剥蚀电感耦合等离子体质谱仪系统及检测方法”的专利,公开号CN119269617A,申请日期为2024年12月。专利摘要显示,本发明公开...
专利摘要显示,本发明公开了一种等离子体处理石墨舟的方法,包括以下步骤:步骤S1、将干法清洗后的石墨舟转移到PECVD镀舟机台;步骤S2、将石墨舟放入PECVD炉管内,并在石墨舟中插入电极;步骤S3、将PECVD炉管抽真空并加热;...
正在开展的第22轮物理实验中,“东方超环”大科学团队瞄准托卡马克稳态高性能等离子体前沿物理研究,解决了等离子体芯部与边界的物理集成、等离子体与壁相互作用、高功率加热系统注入耦合、第一壁材料排热、精密控制、实时诊断...
专利摘要显示,本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及基于非等离子体的氟刻蚀设备。本发明在上料传输机构的传输路径上设置刻蚀反应腔体,并在一个刻蚀反应腔体内配置多个不同功能的区域,硅片通过上料传输机构进入腔体后依次...
专利摘要显示,本发明公开了一种降低等离子体损伤的方法,包含:在PECVD淀积工艺结束后,进行两步表面等离子处理:第一步:使用O2/He作为表面处理气体,同时引入第一功率的高频对于PECVD薄膜进行表面处理;第二步:使用O2/He...
1月14日,由中国科学院合肥物质科学研究院等离子体物理研究所建设运行的国家重大科技基础设施“聚变堆主机关键系统”的关键子系统“偏滤器等离子体与材料相互作用研究平台”完成测试,该平台的关键设施—超导直线等离子体装置...
金融界2025年1月15日消息,国家知识产权局信息显示,云南伦扬科技有限公司申请一项名为“一种近红外驱动等离子体增强纳米酶比色检测组胺的方法”的专利,公开号CN119290809A,申请日期为2024年12月。专利摘要显示,本发明公开...
中新社合肥1月14日电(储玮玮)目前国际上综合参数水平最高的超导直线等离子体装置14日在安徽省合肥市全面建成投入运行。该装置最大粒子流大于10的24次方每平方米每秒,单次放电时间超过1000秒,最高中心磁场高于3特斯拉。当日,...
中新社合肥1月14日电(储玮玮)目前国际上综合参数水平最高的超导直线等离子体装置14日在安徽省合肥市全面建成投入运行。该装置最大粒子流大于10的24次方每平方米每秒,单次放电时间超过1000秒,最高中心磁场高于3特斯拉。当日,...
1月14日,位于安徽合肥的国家重大科技基础设施—聚变堆主机关键系统综合研究设施项目关键子系统“偏滤器等离子体与材料相互作用研究平台”完成测试验收,超导直线等离子体装置全面建成并开始投入运行。经实验现场测试、专家...
记者从中国科学院合肥物质科学研究院获悉,该院大科学团队成功研制强流直线等离子体装置“赤霄”,如同一把性能超强的“激光剑”,为研制“人造太阳”核心材料提供科技利器。1月14日,经专家组鉴定,“赤霄”参数达到设计指标...
金融界2025年1月13日消息,国家知识产权局信息显示,贵州电网有限责任公司申请一项名为“一种基于热等离子体的SF6无害化降解方法及系统”的专利,公开号CN119281082A,申请日期为2024年11月。专利摘要显示,本发明涉及SF6处理...
专利摘要显示,本发明公开了一种基于射流等离子体降解SF6的方法及装置,将惰性气体活化激发产生等离子体,再将配比后的SF6通入反应罐中,使激发态的惰性气体在反应罐中产生碰撞反应,SF6断键分解生成游离的F原子和低氟硫化物,...
金融界2025年1月11日消息,国家知识产权局信息显示,哈钦森技术股份有限公司取得一项名为“用于硬盘驱动器的挠曲部的等离子体处理”的专利,授权公告号CN113382551B,申请日期为2016年5月。本文源自:金融界
金融界2025年1月11日消息,国家知识产权局信息显示,内蒙古东源科技集团有限公司取得一项名为“一种等离子体炬绝缘密封装置”的专利,授权公告号CN111918473B,申请日期为2020年7月。天眼查资料显示,内蒙古东源科技集团有限...
金融界2025年1月11日消息,国家知识产权局信息显示,天津中科晶禾电子科技有限责任公司取得一项名为“一种磁约束直流等离子体辉光放电装置和键合设备”的专利,授权公告号CN118888424B,申请日期为2024年9月。天眼查资料显示,...
金融界2025年1月9日消息,国家知识产权局信息显示,国网重庆市电力公司物资分公司申请一项名为“一种基于射流等离子体进行表面处理的装置及方法”的专利,公开号CN119255464A,申请日期为2024年10月。专利摘要显示,本发明属于...
金融界2025年1月8日消息,国家知识产权局信息显示,芜湖晶纯科技有限公司取得一项名为“一种放电均匀的曲面电极等离子体发生装置”的专利,授权公告号CN222263100U,申请日期为2024年1月。专利摘要显示,本实用新型公开了一种...
中微创始人、全球等离子体刻蚀技术权威专家尹志尧教授,在2024年度总结会上表示:自己在美国工作了40年,从来没有想到过我们能做到这么高的刻蚀精度。又透露:中微最新刻蚀机的准确度已经达到0.02纳米,每次加工一个原子都不差...
金融界2025年1月7日消息,国家知识产权局信息显示,浙江天乙环保科技股份有限公司取得一项名为“种利用等离子体协同催化环境处理的设备”的专利,授权公告号CN109718662B,申请日期为2017年10月。天眼查资料显示,浙江天乙环保...
金融界2025年1月4日消息,国家知识产权局信息显示,江苏天楹等离子体科技有限公司取得一项名为“一种准确测量熔融炉熔池液位的方法”的专利,授权公告号CN113847969B,申请日期为2021年9月。天眼查资料显示,江苏天楹等离子体...
专利摘要显示,本实用新型涉及一种等离子体均匀分布的气体分流装置,包括进气接头、等离子体生产室、承托板以及匀气装置,所述等离子体生产室安装于承托板上方,所述匀气装置安装于承托板下方,所述进气接头、等离子体生产室、...
所述电弧炉体内侧的石墨坩埚中放置有等离子体炬,所述等离子体炬的底端固定安装有电极体,所述等离子体炬的顶侧固定连接有电源线和进水管,所述进水管的外端与风冷泵相连通;所述等离子体炬的外壁上固定连接有风管及排水管,且...
金融界2024年12月25日消息,国家知识产权局信息显示,安捷伦科技有限公司申请一项名为“具有改善的信噪比和信号背景比的电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)”的专利,公开号CN119170475A,申请日期为2019年3月。专利摘要显示,本...
金融界2024年12月25日消息,国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备及其脉冲调节等离子体方法”的专利,公开号CN119170473A,申请日期为2023年6月。专利摘要显示,本申请公开了...
接地的等离子体约束环,设于所述下电极组件的外围导电垫片设于所述等离子体约束环与移动环之间,当所述移动环向下移动至工艺位置时,所述移动环通过所述导电垫片与等离子体约束环电连接接地。所述等离子体处理装置,有利于降低...
专利摘要显示,一种用于等离子体处理室的易耗部件包含面向等离子体侧。工程化表面被形成于所述易耗部件的所述面向等离子体侧中。多个凸起特征限定所述工程化表面,其中特征按预定图案设置,其中所述多个凸起特征中的每一者包含...
公司于2018年收购Empore管理品牌耗材生产线,致力于环保、生物、医药等领域应用,且目前进展重点为分析测试仪器,加强全谱直读电感耦合等离子体光谱仪等产品研发,扩大市场竞争力。实验室解决方案涵盖洁净实验室工程等服务,...
金融界2024年12月17日消息,国家知识产权局信息显示,埃芬科有限公司取得一项名为“用于稳定和辅助等离子体燃烧的纳米级陶瓷等离子体催化剂”的专利,授权公告号CN115335144B,申请日期为2020年3月。本文源自:金融界
不过 LARID雷达的主要任务还是探测等离子体泡,相比卫星监测系统,它不仅成本更低,覆盖范围更广,还能实时监测和预警。在军事上,LARID雷达可以大大提升我们的战略预警能力,特别是在应对电子战和信息战方面。想想看,如果...
专利摘要显示,提供一种等离子源以及等离子体设备。等离子源包括上盖、绝缘壳体、绝缘介质柱体、电容电极片以及电感线圈。上盖密封固定在绝缘壳体上,上盖具有进气道;绝缘壳体具有中空腔;绝缘介质柱体占据中空腔的靠近上盖的...
每经AI快讯,盛美半导体设备(上海)股份有限公司今日在官微宣布,其2024年推出的UltraFnA等离子增强型原子层沉积炉管设备(PEALD)已初步通过中国大陆一家半导体客户的工艺验证,正在进行最后优化和为迈入量产做准备。...
金融界2024年12月7日消息,国家知识产权局信息显示,武汉海思普莱生命科技有限公司取得一项名为“一种等离子体射流辅助装置”的专利,授权公告号CN110213872B,申请日期为2019年6月。本文源自:金融界
专利摘要显示,此处所述的实施例关于提供较短且对称的路径的接地路径系统,用于将射频(RF)能量传播至接地以减少寄生等离子体的产生。接地路径系统将腔室的处理容积分叉以形成内部容积,内部容积隔绝处理容积的外部容积。本文...
专利摘要显示,本发明提供一种等离子体处理装置,其具备:等离子体处理室,收容被处理基材;输送装置,将所述被处理基材输送到所述等离子体处理室内;电感耦合型线状天线,用于产生等离子体;偏置电极,对等离子体电位进行调制...
中新网合肥12月3日电(记者张俊)中国科研团队近日利用等离子体技术打造了含有钴元素的钛基骨植入物,为骨骼疾病提供了潜在的治疗方案。该成果发表在国际权威学术期刊《先进科学》(AdvancedScience)上。在现代医学领域,骨科感染...
国内顶尖的学术期刊《光学学报》刊登了一篇英译版的原版论文《水下光纤纳秒激光推进的短微腔结构性能研究》,点名中国已经完成了潜艇的等离子体爆轰推进技术论证,在业内引发轰动。这种技术的全称是“水下光纤激光诱导等离子体...
金融界2024年11月30日消息,国家知识产权局信息显示,常州汉劼生物科技有限公司取得一项名为“电极组件及使用该电极组件的等离子体发生装置”的专利,授权公告号CN110446324B,申请日期为2019年8月。本文源自:金融界
金融界2024年11月30日消息,国家知识产权局信息显示,SPP科技股份有限公司取得一项名为“等离子体点火方法和等离子体生成装置”的专利,授权公告号CN113796163B,申请日期为2019年5月。本文源自:金融界
金融界2024年11月30日消息,国家知识产权局信息显示,成都赋仁生物科技有限公司申请一项名为“贵金属信号增强的等离子体单分子阵列芯片及其制备方法”的专利,公开号CN119040808A,申请日期为2024年8月。专利摘要显示,本发明...
证券之星消息,根据天眼查APP数据显示金辰股份(603396)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种电极引入机构及管式等离子体沉积炉”,专利申请号为CN202323330150.2,授权日为2024年11月29日。专利摘要:本申请涉及一种...
本报讯(记者王敏)近日,中国科学院合肥物质科学研究院研究员韩伟团队发现,低剂量的大气压低温等离子体仍可有效抑制肿瘤,其机制是通过损伤肿瘤细胞的线粒体结构与功能,继而诱导发生有丝分裂灾难,实现抑癌。相关研究成果...
本网讯(记者鹿嘉惠)近日,记者从中国科学院合肥物质科学研究院获悉,该院健康所韩伟团队在等离子体肿瘤治疗机制方面再次取得突破,发现低剂量(大气压低温)等离子体仍可有效抑制肿瘤,其机制是通过损伤肿瘤细胞的线粒体结构...
输送组件包括等离子体发生器、贮水箱、底座、第一流量计、等离子输送管、抽水泵、输水管和第二流量计,等离子体发生器固定连接于底座上方,等离子体发生器通过等离子输送管连通混合组件,第一流量计固定连接于等离子输送管上。...
金融界2024年11月23日消息,国家知识产权局信息显示,武汉友美科自动化有限公司取得一项名为“管外微波等离子体化学气相沉积制备光纤预制棒的装置及方法”的专利,授权公告号CN116040933B,申请日期为2023年1月。本文源自:...
金融界2024年11月23日消息,国家知识产权局信息显示,珠海格力电器股份有限公司取得一项名为“等离子体活化水制备装置”的专利,授权公告号CN114890499B,申请日期为2022年6月。本文源自:金融界
必创科技(300667.SZ)11月20日在投资者互动平台表示,公司部分产品可针对核聚变领域中的高温等离子体进行光谱学诊断,主要有各类光谱仪、分幅相机、条纹相机以及ICCD/ICMOS、精密光机等核心模组及部件 (记者蔡鼎)
金融界2024年11月16日消息,国家知识产权局信息显示,上海陛通半导体能源科技股份有限公司取得一项名为“用于晶圆等离子体刻蚀的方法和设备”的专利,授权公告号CN111564354B,申请日期为2019年2月。本文源自:金融界
本发明解决了现有技术存在对半导体芯片切割后使用等离子体清洗方式处理有机物污染时清洗时长难以精确控制,过清洗现象严重,自动化程度不足,导致影响芯片性能的技术问题,达到了实现等离子体清洗有机物污染过程中更高效、更...
专利摘要显示,本发明公开了一种远程等离子体清洗设备及清洗方法,清洗设备包括清洗腔室、腔门、第一远程等离子体源、第二远程等离子体源和真空单元,第一远程等离子体源和第二远程等离子体源分别与清洗腔室的第一端和第二端...
金融界2024年11月6日消息,国家知识产权局信息显示,TDK电子股份有限公司取得一项名为“产生非热大气压等离子体的设备和运行压电变压器的方法”的专利,授权公告号CN111868943B,申请日期为2019年3月。本文源自:金融界
专利摘要显示,本实用新型涉及一种液相微波等离子体发生装置,包括依次连接微波源、前段波导管、压缩波导管和后段波导管,前段波导管、压缩波导管和后段波导管的横截面均为矩形;压缩波导管的管径为两端大、中间小;压缩波导管...
金融界2024年10月29日消息,国家知识产权局信息显示,正道新能源科技有限公司取得一项名为“一种低温等离子体清除水源核污染的净化设备”的专利,授权公告号CN118164593B,申请日期为2024年3月。本文源自:金融界
专利摘要显示,本公开实施例公开了晶圆承载结构以及等离子体刻蚀设备,所述晶圆承载结构包括:环状的承载部;以及导热部,所述导热部设置在所述承载部的用于承载晶圆的表面上,并设置成通过与所述晶圆的边缘接触来承载所述晶圆...
金融界2024年10月29日消息,国家知识产权局信息显示,中微半导体设备(上海)股份有限公司申请一项名为“一种等离子体处理设备及其安装维护方法”的专利,公开号CN118824825A,申请日期为2023年4月。专利摘要显示,本发明公开...
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