必创科技（300667.SZ）11月20日在投资者互动平台表示，公司部分产品可针对核聚变领域中的高温等离子体进行光谱学诊断，主要有各类光谱仪、分幅相机、条纹相机以及ICCD/ICMOS、精密光机等核心模组及部件 (记者蔡鼎)
本发明解决了现有技术存在对半导体芯片切割后使用等离子体清洗方式处理有机物污染时清洗时长难以精确控制，过清洗现象严重，自动化程度不足，导致影响芯片性能的技术问题，达到了实现等离子体清洗有机物污染过程中更高效、更...
专利摘要显示，本发明公开了一种远程等离子体清洗设备及清洗方法，清洗设备包括清洗腔室、腔门、第一远程等离子体源、第二远程等离子体源和真空单元，第一远程等离子体源和第二远程等离子体源分别与清洗腔室的第一端和第二端...
金融界2024年11月6日消息，国家知识产权局信息显示，TDK电子股份有限公司取得一项名为“产生非热大气压等离子体的设备和运行压电变压器的方法”的专利，授权公告号CN111868943B，申请日期为2019年3月。本文源自：金融界
专利摘要显示，本实用新型涉及一种液相微波等离子体发生装置，包括依次连接微波源、前段波导管、压缩波导管和后段波导管，前段波导管、压缩波导管和后段波导管的横截面均为矩形；压缩波导管的管径为两端大、中间小；压缩波导管...
金融界2024年10月29日消息，国家知识产权局信息显示，正道新能源科技有限公司取得一项名为“一种低温等离子体清除水源核污染的净化设备”的专利，授权公告号CN118164593B，申请日期为2024年3月。本文源自：金融界
专利摘要显示，本公开实施例公开了晶圆承载结构以及等离子体刻蚀设备，所述晶圆承载结构包括：环状的承载部；以及导热部，所述导热部设置在所述承载部的用于承载晶圆的表面上，并设置成通过与所述晶圆的边缘接触来承载所述晶圆...
金融界2024年10月29日消息，国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“一种等离子体处理设备及其安装维护方法”的专利，公开号CN118824825A，申请日期为2023年4月。专利摘要显示，本发明公开...