显然大家都知道，EUV光刻机可以说是人类工业史上的龙头存在，一台光刻机由 100,000 多个零件组成，这其中更是全球5000多家工厂共同努力的结果，仅仅根据一个国家的产业来生产一台EUV光刻机是非常困难的，但是，我国可以说是世界上拥有最完整的产业链体系，技术在不断积累，我国的高新技术也日趋成熟。
而不是每个人都知道的是，我国有一些公司制造完整的光刻机，比如上海微电子和华卓精密科技也有一定的技术积累，此外，清华大学研究院也对EUV光源进行了深入的研究。研发一种SSMB光源可解决光刻机光源基本技术难点。
对于这样的顶尖科研，中科院也进行了深入研究，中科院曾表示，将扎根光刻机领域，攻克所有开创性技术难题，经过科研人员的辛勤努力，确实取得了很大的进步。据央视前段时间也传来了喜讯，我国首台高能光源已经开始设备安装调试阶段。该设备由中科院高能研究所全程研制，成功完成了高能光源设备的应用安装。
这也是我国首次研制出高能辐射源，是世界上亮度第一的第四代辐射光源，这种光源的技术和设备可以完全国产化，应用也非常广泛，它还可以用于光刻机的生产，这也意味着中国的光刻机将取得重大进展，这是美国没有预料到的。
众所周知，光刻机代表了许多前沿技术的成果，其中光源是最基本的技术，荷兰ASML是全球唯一一家可以生产EUV光刻机的厂商，但ASML 90%以上的技术都是从国外进口的，单单考虑光源技术，美国就占了27%，可以认为控制了很多关键成果，因此，在美国的道德桎梏下，ASML已经禁止EUV光刻设备向国内出售了。
随着我国攻克光刻机难点的努力，清华大学研究院研制的SSMB将解决EUV光刻机的主要光源问题，此外，中科院的高光源设备是世界上最亮的光源，设备一旦安装好，也可以让中国在光源技术层面有深度的技术支持，这是国产光刻机的一个里程碑，可以帮助我们避免技术上对国外的依赖，未来在光刻机的生产上有更多的发言权。
美国规则规定，如果产品使用美国技术，则必须获得许可，如果是这样，那么我们从根本原因开始，超越基础技术，这些只是开始。随着各种技术发现的喜讯传来，我国的光刻机将不再受制于人。
央视还有好消息，中电科技离子注入取得快速进展，又一关键器件取得重大突破，它也与EUV光刻机有关，如果合理利用这个结果，肯定是有建设性的，俗话说，笔者认为，随着我国科学技术的飞速发展和科研成果的不断收获，我们家用光刻机必将逆风而立，屹立于世界之林。
据相关消息，上海微电子目前中国光刻机领军企业ICS已进入28nm制程技术领域，28nm制程芯片的生产已经非常接近， 然而，鉴于高科技光刻机的研发，需要不断的技术积累来克服实现腾飞的技术障碍， 我希望中国的科学研究能出新的消息。
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