摘要：
随着湿化学设备在LED、太阳能、MEMS、功率器件、分立器件、先进封装和半导体材料等领域自动化程度的不断提高，传统的人工手动配液，补液逐渐被自动供液取代，此过程中，化学品集中供液（Chemical Dispense System)、原液集中供液（Slurry Dispense System）得到越来越重要、广泛的应用，尤其在大扬程输送，精确配比等使用环境下，便体现出其极大的优势。
华林科纳(江苏)半导体设备有限公司（简称CSE），成立于2008年3月。前身是苏州华林科纳半导体设备技术有限公司，与中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所合资共建，其湿制程业务始于 90年代末，拥有20多年的行业经验，是国内最早的湿法制程整体解决方案提供商。
公司下设半导体湿法装备事业部、高纯流体配件事业部、半导体信息服务事业部，其中半导体湿法装备事业部凭借资深经验，现已形成湿法清洗系统、刻蚀系统、CDS系统、尾气处理系统的四大系列数十种型号的产品，广泛应用于大规模集成电路电力电子器件、光电子器件、MEMS和太阳能电池等领域。
公司优势：
Ø 技术支撑
华林科纳与苏州纳米研究所合资共建，保障了前沿技术、核心技术、关键技术的研究和开发；
Ø 研发团队
华林科纳具有高新技术企业资质，核心技术人员来自德国、台湾、苏州纳米所，均有十五年以上CDS和WETBENCH的研发设计经验；
Ø 2020年，我司对标国外一流厂商，建成千级湿法实验室，是国内唯一能配合用户实现DEMO的厂家
产品介绍：
华林科纳供液系统供应的slurry>40种,chemical>20种,Fab>60，90%以上都是6寸、8寸、12寸FAB，在最新的14-28nm FAB里，有超过200套的供液系统业绩。
Ø 化学品集中供液（Chemical Dispense System)：
l 系统主要由设备壳体、抽风系统、电控单元、供液系统、管路单元及分配阀箱等部分组成；
l 供液系统，一般情况下，同种溶液的原液桶为两个（200L），一备一用。当其中一个桶的液位传感器检测到该桶已经无液时，信号会自动使切换阀切换到另一个满桶继续工作。
l 产品规格：2200(W) X 1620（D）X 2200(H)(含轮子), 象牙白PP外壳；
l 配置彩色人员操作界面, Proface 10”触摸屏,操作画面设计个性化定制；
l 具备测空监测，设置取样区；
Ø 原液集中供液（Slurry Dispense System）
l 自动供液系统（SDS）是一套由多种液体化学品供应设备组成的系统；
l 主要用途：本系统设备主要以本地供应方式来提供制程所需之清洗液，包括研磨液原物料输送、混合稀释、循环供应功能及运转测试等；
l 不同的slurry特性，不同的辅助功能：循环，搅拌，加湿，喷淋，吹扫等；
l 产品规格：2020(W) X 1420（D）X 2200(H)(含轮子), 象牙白PP外壳
l 箱体外具备一组200L/Drum 的原料连接接口设计,采用 Drum cart 运输；
l 具备测空监测；
l 彩色人员操作界面, Proface 10”触摸屏
l 具备重量侦测，称重精度±50g;
l 桶槽具备高压清洗(360 度)功能;
l 桶带有可拆卸式的搅拌桨；
l 具备药液 + DIW 的自动称重计量功能；
l 混酸配方可设定≧ 10 组设定配方比；
l Supply tank 带有自动清洗功能；
控制模式：手动控制模式、自动控制模式。
产品优势：
1、流量持续稳定
① 泵的选择：
l 供液泵的选择，采用CDA作为动力源，选用的材质，需对各种腐蚀性液体、带颗粒的液体、高粘度、易挥发、易燃的液体均可传输；
l 隔膜泵，风囊泵特点：具有自吸功能，可空转运行，没有机械密封，不会产生颗粒及污染，适用于中高黏度的液体，膜片抗腐蚀。
① 管路的安装处理
l 管路采用耐酸碱PFA材质；
l 气液分离器，保证管路系统中传输液体的连续稳定性
1、精确配比（配液）
根据不同化学品/Slurry 特性选择不同辅助功能：循环，搅拌，加湿，喷淋，吹扫等；
① 电子秤的运用：
l 电子秤精度一般1/3000~1/1000，主要用于相对稳定药液，对温度，压力等要求低，具有不易挥发性；
l 减少喷淋，吹扫，加湿，搅拌等辅助功能对混合储罐的连接影响，增强电子秤准确性；
l 进液管路侧向进液，不直冲罐体；
② 流量计的使用：
l 保证管路内不存在气泡，流速均匀，可采用我司特制气液分离器；
l 泵的选择，内膜片稳定运行，气动稳定；
l 管路安装，减少弯头及水锤现象；
l 确保管路内没有药液残留
2、工艺优势
u 针对特种化学品液体本身的特点和使用需求进行设计施工，因此具备很强的针对性。
u 针对性施工与检测
u 针对性优化设计
u 针对性选材与采购
