国产DUV光刻机终于来了!虽显稚嫩,但未来可期!

李林诚说 2024-11-12 15:12:48

最近你们是不是也被国产光刻机的消息给刷屏了?没错,这事儿可真够火的,时间点也掐得刚刚好,正好跟荷兰政府最新的光刻机限制出口政策撞了个满怀。

咱们这位荷兰的新首相迪克·斯霍夫,一上任就紧跟美国的步伐,把阿斯麦公司的1970i和1980i这两款DUV深紫外光刻机给列入了限制对华出口名单。

这可愁坏了咱们那些像华为、中芯国际这样的半导体大厂,毕竟,少了这些高端设备,想要把芯片制程稳定在7nm甚至以下,可真不是件容易的事儿。

不过呢,咱们国产光刻机这边却是好消息不断。早在9月初,工信部就悄悄地发了个通知,说《重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》里可是提到了国产氟化氩DUV机的光刻信息。

而上海微电子那边也是不甘示弱,紧跟着就披露了一项“极紫外辐射发生装置及光刻设备”的发明专利,申请时间可早了,是在2023年3月份。这一下子,可把网友们给激动坏了,国产光刻机这是要一飞冲天的节奏!

但话说回来,咱们也不能光看热闹,得仔细瞧瞧这国产光刻机到底是个啥水平。根据工信部的信息,这款氟化氩光刻机的波长可是193nm,这可是DUV光刻机的主流波长,没错,这就是一台正儿八经的DUV光刻机。

但DUV光刻机里头也是有讲究的,分干式和浸润式两种。浸润式DUV光刻机那可是制造高端芯片的神器,咱们熟知的台积电技术大佬林本坚博士,就是用他那套浸润式技术,让阿斯麦在21世纪初一举超越了日本的尼康和佳能。

可咱们现在这款国产光刻机呢,从配套技术来看,更像是干式深紫外光刻机,主要是用来制造成熟制程的芯片,比如65nm以上技术节点的那些。这听起来可能有点让人失望,但咱们也得理解,毕竟这是咱们第一次公开亮相的国产氟化氩干式深紫外光刻机,能走到这一步已经相当不容易了。

话说回来,这国产光刻机跟阿斯麦的差距到底有多大呢?咱们来细细分析一下。阿斯麦的产品线里头,TWINSCAN NXT 2开头和19开头的光刻机型号,那可都是光源波长193nm的浸润式DUV光刻机,能够制造等效7nm左右的高端芯片。

而咱们这款国产光刻机,目前披露的信息就只有分辨率数值65nm,和光源波长193nm。这么一看,差距可不小,基本上就相当于阿斯麦TWINSCAN NXT/XT 14开头两款机器的水平,甚至可能还更低一些。

但咱们也别灰心,毕竟这已经是咱们迈出的重要一步了。想想看,从秘密研发到公开亮相,这本身就是一种巨大的进步。而且,咱们在高端芯片市场被逐步封锁的情况下,成熟制程芯片业务可是咱们的重要支撑。如果能够吃下这块市场的半壁江山,对于中国芯片的崛起那也是极好的消息。

其实,咱们国产光刻机的发展也不是一帆风顺的。在这之前,咱们可是没少受到国际巨头的打压和封锁。但咱们中国人历来就有那股子不服输的劲儿,你越封锁我,我越要突破。

这不,国产光刻机就这么硬生生地给搞出来了。虽然现在还比较稚嫩,但谁又敢说它未来没有希望呢?

说到这里,我就想起了一位国产半导体设备的泰斗级人物——尹志尧先生。他曾经说过:“中国在半导体设备领域离国际最先进水平还有相当一段距离,但中国有上百个设备公司、20多个成熟公司正在拼命努力。我们自己要有非常大的信心,用5年、10年的时间,要达到国际最先进水平是完全可以实现的。”听听这话,多有底气!

所以,咱们也得对国产光刻机有信心。虽然现在还比不上阿斯麦那些国际巨头,但咱们有技术、有人才、有市场,还有那股子不服输的劲儿。只要咱们继续努力下去,总有一天能够打破国际封锁,引领芯片产业的新未来。

总的来说,国产光刻机的这次亮相虽然还有些稚嫩,但它却代表着咱们在光刻机领域迈出的重要一步。咱们得继续加油努力才行!你们觉得国产光刻机在未来能够取得更大的突破吗?它又将如何影响咱们中国的芯片产业发展呢?

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