近日，哈工大哈尔滨科技创新研究院宣布，继“氩离子源”、“电离质谱检测装置”之后，哈工大在“放电等离子体极紫外光刻光源”项目上又实现了新的进展，荣获黑龙江省科技创新成果转化大赛一等奖。这一最新成果标志着哈工大在极紫外光源技术上实现了重要突破，意味着中国在极紫外光源技术上有了自主研发的能力，不再依赖进口设备。
据了解，极紫外光刻技术是先进芯片制造的核心，目前全球极紫外光刻市场几乎被ASML垄断。ASML的极紫外光刻机以其超高的分辨率和高良率而闻名， 极紫外光刻技术作为最先进的光刻技术，其光波长为13.5纳米，采用近紫外光作为成像介质，具有更高的分辨率、更短的光波长，减少了制造纳米级别芯片所需的光掩模层数，降低了光学干扰，提高了良率。
但由于极紫外光源的高能量产生是其技术应用中的最大挑战之一，因此研发极紫外光源成为其关键和最难攻克的技术难点， 传统的半导体工艺中使用的光刻机往往采用紫外光或可见光，但这些光线的波长较长，难以实现亚纳米级别的精度。而极紫外光的波长更短，可以在更小的尺度上进行光刻，从而实现更高的集成度和性能，这也是为什么EUV光刻机如此昂贵和高端的原因。
一、EUV光刻机光源终于实现了中国自主研发
可以说，EUV光刻机的厂商少之又少，主要原因就是在于极紫外光刻光源的技术难度太高，直到2015年，荷兰ASML公司才研发出EUV光源并进行了商用化， 而在这之前，国内在EUV光源方面也有了一些技术储备，但始终未能实现突破。而此次，哈工大在“放电等离子体极紫外光刻光源”项目上获得了一等奖，意味着中国在极紫外光源技术上取得了重大的突破，今后也可以自主研发和生产极紫外光源。
哈工大的这一获奖成果，代表了我国在高端制造领域的自主研发能力实现了新的突破。在过去的几十年里，中国的高端制造业发展迅速，但由于过度依赖进口技术，导致我们在核心技术上始终无法实现自主可控， 以半导体行业为例，我国在芯片制造、设计等领域的技术水平逐渐提高，但仍然面临核心技术受制于人的困境，但是如今哈工大在EUV光刻机光源技术上获得了新进展，打破了这一僵局。
二、光源技术获得突破的关键点是什么？
当然，这次获得科技创新大赛一等奖也不是偶然的，在之前，哈工大就曾在极紫外光源技术上取得了一系列的进展， 研发出了一种新型的高效光源，其可以产生出高能量、稳定、短脉冲的激光束，通过激光束轰击气体介质，从而产生高效率的极紫外光，在光源技术上取得了重大突破。
关键点之一是极紫外光的生成技术，将氪或氙等惰性气体等离子化并发生激波，就会形成极紫外光。 关键点之二是在单位面积内的能量损耗更低，能量转换效率更高，从而可以在更小的体积内产生更高的极紫外光能量，提高光源的能量转换效率，降低能量损耗。
三、光源技术获奖的同时也面临各种挑战
技术挑战：光源的产量和稳定性仍待提高
虽然已经获得了科技创新大赛的奖项，技术已经突破，但在实际应用中依然面临许多挑战，首先， 极紫外光源的稳定性是一个技术难题，在光源的研发上还需要不断进行技术的更新迭代，以提高光源的稳定性和产量，满足高端制造的需求。
一般来说，极紫外光源的产生需要高精度的光学元件和控制系统，这对于技术实力和制造工艺提出了较高的要求，因此，光源的产量和稳定性将是技术应用的主要挑战。
实现挑战：从技术验证到量产还有漫长的路要走
从技术验证到量产， 需要克服整机集成的能力、产业化的能力等诸多技术挑战，因此，虽然此次哈工大的获得了黑龙江省科技创新转化大赛一等奖，技术上取得了重大突破，但关于EUV光刻机的各项技术指标仍需不断完善，以满足高端制造的需求。这也是目前全球只有ASML能够生产EUV光刻机的原因。
四、其它高校应以哈工大为榜样，突破核心技术的壁垒
此外，光刻机的生产需要一定规模的生产线、研发团队和技术支持等，这对于企业的综合实力也提出了较高的要求。虽然目前国内在光源设备、光刻机等领域的技术水平仍有待提高，但可以看出，随着自主技术的不断发展和进步，中国在高端制造领域的自主研发能力正在逐步增强。
此次哈工大的“放电等离子体极紫外光刻光源”项目获得黑龙江省科技创新转化大赛一等奖，是一个重要的里程碑，意味着中国在极紫外光源技术上实现了重大的突破，为中国的高端制造业提供了强有力的技术支持，也为中国的科技创新注入了新的动力。
在未来，国内需要更加注重对极紫外光源等核心技术的研发， 加大对相关研究机构、企业的支持和投入，同时，加强国内高校与企业之间的合作，形成产学研一体化的发展模式，推动技术成果的转化和商业化，逐步实现核心技术的自主可控，推动国内科技的发展。
在这个过程中，如果可以建立一个专门的国家科研基金，支持类似EUV光刻光源等高端技术的研发，或许能更好地推动科研成果的转化和应用，另外，还可以考虑加强国内高校与企业之间的合作，形成产学研一体化的发展模式，通过政策的推动，鼓励更多的科研人员投入到半导体产业中，增加专业人才的储备，加快技术进步。
同时，应该将产学研结合的成果进行市场导向的评估，确保研发方向与市场需求保持一致，以提高技术落地的成功率。通过这些措施，我们可以更好地推动我国的科技发展，推动高端制造业的发展。
