深圳绿色工厂补贴政策主要涵盖了国家、省、市及区级不同层级的奖励。具体而言，深圳市对于获得绿色工厂称号的企业提供了以下补贴：

国家级绿色工厂：奖励金额不超过50万元。这是深圳市对绿色工厂支持的最高奖励额度，旨在鼓励企业达到国家级绿色制造标准。

省级绿色工厂：奖励金额不超过30万元。这一级别的奖励体现了深圳市对省级绿色工厂创建的积极支持。

市级绿色工厂：奖励金额不超过20万元。对于在市级层面达到绿色工厂标准的企业，深圳市同样给予一定的资金支持。

此外，深圳市的部分区还出台了额外的奖励政策，如宝安区、龙岗区、龙华区、坪山区等，这些区的奖励金额和条件可能有所不同。例如，宝安区和龙岗区对首次获评国家级、省市级绿色工厂的企业，分别给予50万元、20万元的奖励。

值得注意的是，以上奖励金额均为上限，实际资助的额度可能会受到专项资金年度预算总额的控制。同时，企业需符合绿色工厂相关标准、政策要求，并通过自评价或委托具备评价能力的第三方机构开展评价，编制评价报告后提交申请。奖励资金的申请、审核和拨付流程需按照相关规定执行。

深圳绿色工厂补贴政策为企业提供了从国家到地方的多层次支持，旨在推动企业实现绿色制造和可持续发展。