IT之家12月2日消息,ASML在官网纪念品商城上架了一款特殊的产品:世界首型HighNAEUV光刻系统TWINSCANEXE:5000的乐高模型套装。
TWINSCANEXE:5000光刻机是首款采用0.55NA数值孔径的光刻机,其分辨率达8nm,成像对比度较此前的NXE系列0.33NAEUV系统高40%,支持2nm逻辑节点图案化,单价达3.5亿欧元(IT之家备注:当前约26.8亿元人民币)。
该乐高套装由ASML开发人员——同样也是乐高爱好者——RickLenssen设计,拥有851个部件,宽高深三维352×99×64mm,定价227.95美元(当前约1653元人民币)。
RickLenssen此前曾耗时合计2.5年(1.5年设计蓝图、1年实际组装)用乐高积木复现了ASML的费尔德霍芬主园区,还推出过多款ASML主题的乐高套装产品。
图源RickLenssen个人网站,下同