无锡尚积半导体申请多片晶圆存片腔专利,方便机械手取出晶圆节约时间

金融界 2025-03-29 13:24:27

金融界2025年3月29日消息,国家知识产权局信息显示,无锡尚积半导体科技股份有限公司申请一项名为“多片晶圆存片腔”的专利,公开号CN119694960A,申请日期为2025年2月。

专利摘要显示,本发明提供一种多片晶圆存片腔,包括:腔体,其中两个相对的侧面上分别设置有第一进出片口和第二进出片口;回转支架,位于所述腔体内并沿其自身回转中心转动,所述回转支架上回转设置有若干用于承载晶圆的置物台,以使得晶圆始终处于水平状态;输送件,用于托举或下放晶圆,待加工的晶圆从最下侧的所述置物台处被所述输送件托举、离开所述置物台,已加工的晶圆在最下侧的所述置物台处被所述输送件下放、坐落在所述置物台上;直线驱动件,用于驱动所述输送件通过所述第一进出片口进出所述腔体;本发明方便机械手取出晶圆的动作集中,机械手能利用整合的时间进行其他的移动工作,有利于提高机械手的使用率。

天眼查资料显示,无锡尚积半导体科技股份有限公司,成立于2021年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2030.9677万人民币,实缴资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡尚积半导体科技股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目18次,财产线索方面有商标信息7条,专利信息107条,此外企业还拥有行政许可15个。

本文源自:金融界

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