[#日本先进光刻机保有量上升#，#ASML计划将驻日维护团队规模扩大至5倍#]4月3日消息，《日经亚洲》当地时间昨晚报道称，在日本半导体制造足迹不断扩张、先进光刻机保有量持续上升的趋势下，ASML计划将其驻日维护团队在未来几年扩大到当前规模的5倍，到2027年来到100人。根据IT之家的了解，日本境内至少有三个项目将引入ASML提供的EUV光刻设备，分别是Rapidus位于北海道千岁市的IIM晶圆厂（2nm逻辑）、美光广岛的内存生产线（1-gammaDRAM）和台积电日本子公司JASM的二期晶圆厂（6/7nm逻辑）。

而若考虑到DUV机台，日本的ASML设备持有规模将进一步提升。更大的当地支持组织能帮助ASML在日本客户提出需求的第一时间响应处置，从而减少停机等待时间，降低客户的损失。