中科院搞出全固态DUV光源的消息,直接惊了!这玩意儿能把光刻机体积砍掉40%,功耗降70%,关键还绕开西方专利搞出193纳米波长,直接让国产光刻机冲到了7纳米制程门槛。现在上海微电子的28nm光刻机马上量产,新凯来更放话5nm在路上,这速度比特斯拉踩电门还猛!
以前总有人说光刻机得靠全球产业链,结果咱们硬是用"固态光源+涡旋光束"把ASML的剧本撕了。中科院那套技术不仅让光束自带DNA式螺旋,还能把特征尺寸压到2纳米,比EUV光刻机便宜十倍不止。更绝的是南大光电光刻胶、长春光机所物镜系统集体爆发,现在国产设备从光源到胶水都能自给自足,活脱脱把光刻机搞成了"全华班"。
看ASML急得连夜开会,前脚刚限制DUV出货,后脚中芯国际就用四重曝光搞出5纳米等效芯片。深圳砸千亿搞半导体基金,武汉光谷直接给专家发500万房补,这波操作看得人热血沸腾。难怪ASML前CEO都说封锁反而激活了中国制造的隐藏技能,现在连《新鹿特丹商报》都承认咱们在"降维打击"!
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