国林科技：公司半导体专用臭氧清洗设备与进口设备性能指标相当

第一财经 2025-04-14 09:28:25

国林科技在互动平台上表示，公司半导体专用臭氧清洗设备与进口设备性能指标相当；公司半导体专用臭氧清洗设备的核心零部件及大部分配件装置都是自主研发的，公司凭借臭氧行业多年的技术沉淀和经验，在研发成本方面较有优势。公司目前已与部分清洗设备厂商、光伏、面板等头部企业建立了合作关系，产品验证工作正在有序进行。

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