4月22日，半导体设备ETF（561980）开盘涨0.08%，报1.312元。半导体设备ETF（561980）重仓股方面，北方华创开盘跌0.63%，中微公司涨0.25%，中芯国际跌0.01%，海光信息涨0.62%，韦尔股份跌0.34%，华海清科跌0.72%，拓荆科技跌0.45%，南大光电跌0.19%，长川科技跌0.22%，沪硅产业跌0.17%。

半导体设备ETF（561980）业绩比较基准为中证半导体产业指数收益率，管理人为招商基金管理有限公司，基金经理为房俊一，成立（2023-08-21）以来回报为31.12%，近一个月回报为0.21%。

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