同时开发的四种不同EUV光源的光刻机进展，未来将同台竞技。 ①LPP光源: 进展顺利，正在存储厂验证。 ②LDP光源: 进展顺利，正在某公司验证。 ③同步辐射光源: 最有前景，加速开发中。 ④自由电子激光光源: 功率大、体积大，同时难度也是最大的。 DUV不用介绍了，很快成白菜价了。