6月10日，截止午间收盘，科创半导体设备ETF（588710）跌1.47%，报1.003元，成交额737.59万元。科创半导体设备ETF（588710）重仓股方面，华海清科截止午盘跌0.20%，中微公司跌1.99%，拓荆科技跌3.80%，安集科技跌1.68%，芯源微跌2.84%，中科飞测跌0.89%，华峰测控跌1.24%，盛美上海涨0.19%，富创精密跌1.91%，中芯国际跌1.56%。

科创半导体设备ETF（588710）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率，管理人为华泰柏瑞基金管理有限公司，基金经理为李沐阳，成立（2025-05-26）以来回报为1.71%。

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