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新顺微电子申请适用于投影扫描光刻机的LED光源设备专利 大大降低使用投影扫描光刻机的能源损耗

金融界2025年7月17日消息,国家知识产权局信息显示,江苏新顺微电子股份有限公司申请一项名为“适用于投影扫描光刻机的LED光源设备”的专利,公开号CN120315255A,申请日期为2025年04月。

专利摘要显示,本申请公开了一种适用于投影扫描光刻机的LED光源设备,包括:LED光源装置和控制装置,LED光源装置包括LED灯珠盘和用于聚焦的透镜组件;透镜组件设置于LED灯珠盘的光路方向;控制装置与LED光源装置和投影扫描光刻机相连,用于响应于投影扫描光刻机的曝光信号控制LED光源装置点亮,以输出与曝光信号匹配的目标光源。通过设置可用于投影扫描光刻机的LED光源设备,利用LED光源设备代替了汞灯。而LED光源设备发出的LED光源具有寿命长、能耗低、即用即亮,光源亮度稳定、照度高低可调、可控性好、维护时间短,绿色环保等优点,且LED光源设备的价格便宜。大大降低了使用投影扫描光刻机的能源损耗。因此使得使用LED光源设备的投影扫描光刻机的成本较低且绿色环保。

天眼查资料显示,江苏新顺微电子股份有限公司,成立于2002年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本10686.2522万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏新顺微电子股份有限公司参与招投标项目8次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息143条,此外企业还拥有行政许可16个。

本文源自:金融界