打破美国垄断!国产EUV光刻机突破13.5nm极紫外光研发成功

李好宽手机数码 2025-01-29 01:01:53

提到光刻机,大家都不陌生,只要你关注芯片和半导体行业,光刻机的名字一定是非常熟悉,因为它是生产芯片最重要的核心设备。

光刻机有三大核心技术,第一个就是光源技术,然后是镜头技术,还有工作台技术,尤其是工作台技术,它需要硅片在工作台能实现高精度的定位,要达到纳米级别,以确保光刻图案的准确和重复性。所以说,芯片行业往往越小越精细的东西,难度越大。

目前高精尖的光刻机被全球三大公司垄断,第一家就是大名鼎鼎的阿斯麦,总部位于荷兰。能实现7nm以下的芯片制造,第二家是尼康,第三家是佳能,后面两家不光是生产相机,也做半导体,但是荷兰的阿斯麦几乎占了大头。

因为缺乏关键设备来生产芯片,也导致我国的半导体行业发展一直阻力重重。但是最近哈尔滨工业大学做出了新的突破。

哈工大航天学院赵永鹏教授团队研发出了可以供应13.5nm的极紫外光技术。极紫外光源是EUV光刻机的核心部件,这项技术此前一直被国外垄断。

哈工大这一突破,也是为将来制造EUV光刻机扫清障碍,相信不久的将来,我们不会再受制于人,真正实现国产芯片自主可控。

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