对于EUV光刻机,在过去4年被赋予了太多的光环,甚至可以说已经被神话了,原因很简单,因为EUV光刻机已经被判定为,通往高端芯片制造的“门票”,也正是基于此,作为全球唯一一家有能力生产制造EUV光刻机的厂商ASML公司也被各大芯片代工巨头奉为座上宾。
但是,在2018年,ASML公司因为老美的要求停止向我国中芯国际发售EUV光刻机,这让我国在高端芯片制造领域陷入到了被动局面里,为了解决这种被动局面,在过去几年里,我国的顶级科研机构、高校以及各大民营科技巨头都在纷纷加码光刻机技术,希望能够在短时间内,在EUV光刻机领域获得大的突破。
可是,面对着我国对于EUV光刻机的聚焦,无论是老美还是ASML公司都传来了冷嘲热讽,他们都认为我们不可能打造出EUV光刻机,因此,他们更加不可能相信我们有能力打造出高阶芯片。
但是,华为Mate 60 Pro的发售却狠狠地打了欧美的脸,因为根据数据显示,我们没有依靠EUV光刻机,在老美的限制之下,依旧生产制造出了精度接近7nm的麒麟9000S芯片。
对于华为的操作,外界很是震惊,特别是白宫,更是放话要调查华为的供应链,之所以这么做,就是想要完全限制死我国国产芯片的发展可能。
但是,最近一则新消息的出炉,似乎意味着EUV光刻机不香了,因为上海创消技术发展有限公司放出了大招,根据数据显示,这家中企正在神器5nm芯片制造的直接蚀刻方法,并且专利已经进入到了申请公布阶段,这也就是说,该专利已经通过了初步审查,算是一只脚跨入了成功,接下来只要实质审查通过,就意味着这项专利彻底稳了。
而面对这则消息,外媒给出的评价是,如果最终成功申请通过,那么这将比华为Mate 60系列的发布更加惊艳,同时也意味着拜登要彻底慌了,因为这意味着老美的封锁将彻底失效。
其实,这也不是什么新鲜事情,因为早在之前,日本和韩国就因为EUV光刻机的造价过高,技术复杂所以对于EUV光刻机的替代技术展开了研究,纳米压印技术就是在这种场景下脱颖而出的,并且根据最新消息显示,纳米压印技术也同样是进入到了5nm阶段。
不过,相比之下,上海创消技术发展有限公司的这项技术的确更加高级一些,因为根据该技术的介绍显示,按5nm蚀刻线宽设计芯片版图,设计蚀刻掩模版后,用激光直写光刻机刻出蚀刻掩模版;晶圆准备好后将蚀刻掩模板紧靠晶圆上表面,用等离子体进行干法蚀刻。
这就相当于直接从胶卷相机进入到了数码相机时代,没有了洗胶卷这个步骤,而纳米压印的本质依旧是存在洗胶卷这个过程。
其实,对于高阶芯片技术的突破难度并没有我们想象中的那么那么大,毕竟在任何技术发展的时候,从无到有的创新才是最难的,提高技术的上限是第二难得,但是,看到上限,想办法去追逐上限,这个过程反而是相对比较容易得,而我们也没有说按照老美当年的路子,重新走一遍老美过往的发展路程,我们是同步开工,直接寻找新的突破方案,这无疑会让追逐的时间缩短很多。
这一点是欧美没有想到的,所以接下来就让欧盟见证我们在半导体领域的超越吧。