据彭博社报道,荷兰光刻机巨头阿斯麦公司(ASML)首席执行官温宁克在近日接受采访时表示:“美国主导的针对中国的半导体出口管制措施,最终会促使中国在高端芯片制造设备领域成功研发出自己的技术”。这段采访,乍听起来颇有些“激动人心”,甚至会有一些人在旁边劝大家要“理智”。不过,温宁克的担心是不无道理的,暂且不说关于盾构机的励志故事,单说半导体行业,我们的光刻机技术就曾经达到过国际一流水平。
在上个世纪中后期,因为光刻机的制造技术复杂,国际“巴黎统筹委员会”将其列为尖端技术产品,对华实行封锁禁运。此时,由徐端颐带队,从零开始攻克难关,在1971年研制出中国第一台光刻机和分步重复照相机。1980年,完成了“自动对准分步投影光刻机”,这项技术直到今天,只有美国、日本等少数国家能制造这种设备。该团队一直对光刻机技术进行更新,1991年的时候,第三代“自动对准分步投影光刻机”向中外专家和记者展出,很多专家对中国能制造出此设备感到非常的惊讶。
这次展览会以后,国际“巴黎统筹委员会”便宣布,取消对华出口投影光刻机的禁运令,而且还对国内有需求的企业开出了很诱人的优惠条件,因此,国产的光刻机顿时失去了市场。所有的努力付诸东流,但是,国外的光刻机研制却不停发展,逐渐走上了高端序列。
国内在光刻机领域的现况如何?通过华为事件,我们都意识到,不管你的芯片设计技术多么高超,只要你不掌握生产环节,还是很容易被别人卡脖子。但是,想要自研光刻机是很不容易的,当前的光刻机分为两种:DUV和EUV光刻机,前者用于中低端芯片的研发制造;而我们被禁运的就是荷兰的ASML生产的高端光刻机,这种光刻机需要几十个国家提供上万个零件才能组建。就是在这种情况下,上海微电子在28nm光刻机工艺上也取得了成就,毕竟这些高端的设备,除了决心以外,还需要机遇和时间。
就像汽车市场一样,国内的燃油车和国外有一些差距,但是我们提早布局新能源汽车,在一定程度上实现了“弯道超车”。同样,国内的半导体行业也在通过不同方式实现突破。就比如我们一直在聚焦的光子芯片和芯粒技术,以及部分企业聚焦的光刻胶领域的攻关,都是助力我们快速缩短差距的关键。
ASML作为一家企业来讲,肯定不希望被各种禁运令来减少订单,但是作为一家企业,它肯定无法与国际上操控禁运令的国家相抗衡。相信不久的将来,我们终归实现自主创新,走在光刻机或芯片行业的前列。