增芯12英寸MEMS量产线首台设备搬入!来自国产半导体制造巨头!

传感器的奥妙 2023-12-29 17:41:07

据传感器专家网获悉,12月28日,位于广州的增芯科技MEMS量产线项目举行首台生产设备搬入仪式,本次搬入设备是由中微半导体设备(上海)有限公司制造的Primo D-RIE®刻蚀设备反应台。

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增芯12英寸先进MEMS传感器及特色工艺晶圆制造量产线新建项目,一期总投资70亿元,项目建成后将具备年产24万片12英寸晶圆的生产能力,产品主要应用于汽车电子、物联网、类工业、消费电子等领域,是相关领域产品性能表现的决定因素之一。

以下为新闻原稿:

2023年12月28日上午,广州增芯科技有限公司举行首台生产设备搬入仪式,公司董事长陈晓飞出席活动并致辞,总经理张亮、首席运营官萧国坤,全体二级以上主管及研发、运营、厂务员工代表以及增城区政府部门领导、区产投集团、宁西街道、项目参建单位、设备供应商代表,共同现场见证增芯科技这又一里程碑式的重要时刻。

本次搬入设备是由中微半导体设备(上海)有限公司制造的Primo D-RIE®刻蚀设备反应台,也是增芯12英寸智能传感器及特色工艺晶圆生产线项目搬入的首台生产设备,运用了中微具有自主知识产权的创新技术,是国际主流芯片生产线上必不可少的设备。该设备的搬入,是继项目“920封顶”以来的重要交付,标志着增芯项目一期工程土建和机电安装已经完工,项目由建设期正式转入运营前的生产准备阶段。

陈晓飞董事长首先对莅临现场的领导和来宾表示热烈欢迎,他代表增芯感谢政府各部门对于增芯项目建设的大力支持,感谢产投集团、各参建方以及设备供应商提供的优质服务和保障,感谢增芯全体员工的真心付出。

增城区科工商信局罗明局长、公司首席运营官萧国坤先生、中微半导体设备(上海)有限公司副总裁张凯先生分别代表行业主管部门、公司管理层和设备供应商(战略合作伙伴)致辞,对首台生产设备顺利搬入表示热烈祝贺。

随后,张亮总经理向中建四局、世源设计院、中电四公司颁发“项目优秀承包商奖”,感谢各单位对于项目建设的大力支持和精诚努力。

最后,增芯副总裁、生产运营中心主管徐立介绍了本次搬入刻蚀设备的性能特点,邀请嘉宾上台共同为运载设备的车辆揭幕。红布飞扬,礼花奏响,现场掌声连绵不绝。

增城区科工商信局、开发区企业服务局、科技创新局、投资促进局、园区发展局、区产投及宁西街相关负责人亲临现场,共同见证这一激动人心的时刻。

本次活动的圆满成功,标志着增芯正式迈入新起点、新征程。参加活动的增芯员工纷纷表示,将继续发挥敢想敢干的精神,保持创“芯”激情,向社会各界展示增芯人求真务实的精神风貌,再接再厉,全力以赴,为早日实现量产持续贡献增芯力量。

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