真正的SSMB-EUV光源方案 加速器周长100~150米，输出EUV功率>1KW美国的极限制裁极大的加速了中国EUV光刻机的研发速度。中国目前采取的是一种全新的“技术路线方案”目前中国有三条光刻机研发路线。1.国外正统路线，也就是ASML的EUV光刻机路线。HW+上海光机所+宇量昇，国家队，走500W LPP光源+复杂镜头组的技术路线。现在进度最快，技术复杂度相对最高，特别是超高功率、超高重复频率二氧化碳激光器技术难度非常高。进度保密 2.改进型路线。广东智能机器研究院(广智院)+华中科技大，他们在尝试一种采用分时高功率光纤激光器射击液态锡靶的方式绕开超高功率、超高重复频率二氧化碳激光器的技术路线。如果他们那个400路光纤激光器能够成功，将是使用二氧化碳激光器的LPP光源功率的数倍。何时成功还是未知。3.颠覆式全新路线。清华大学主导的1千瓦级SSMB-EUV光源，直接把光刻机光源变成基础设施--同步辐射光源。直接把光源变成类似工业园中的电力、蒸汽、纯水等可购买原料。比如：深圳产业光源系统规划了EUV光刻线站和EUV检测线站等合计四条光束线，六个实验站。第三条。颠覆性技术路线如果全面成功，可以秒杀上面两条路线。光源外置、极大简化的光路直接把EUV光刻机变成体积大，但是成本相对较低的批量产品。且更匹配中国极高的基础设施建设能力！！！
这意思是说把输入光源不同波长的波分别筛出来，各走各的路，然后在出口处用硅板接就可以做出不同精度的芯片？这样产能吓死人了，西方玩个毛线
我们没有空间站的时候，说空间站是人类科技皇冠上的钻石，我们没有航母的时候说航母是顶尖科技的结晶，我们没有隐身战机的时候，说隐身战机是科技权杖上的宝石，我们现在2纳米芯片量产了，欧美都傻逼了。
这他么就是文科生的悲哀，我他么两眼懵逼的进来，两眼懵逼的出来！字我都认识，连在一起就不知道他们在说啥[笑着哭]。
这样打个比方吧，国外有个碎石机大石头放进去出来都是4g的，我们这边搞不了，我们就搞N个碎石机，把碎出来的石头用筛子筛一下，筛出4g的，当然同时也能筛出7g，14g，3g，2g的“副产品”
敬佩辛勤探索的科研工作者！！
创新，不固化思维，思路决定出路！
我们做不出体积小的光源，那就换条路用体积换技术，虽然我的这个东西很大，出口不方便，但我们的目标压根也不是卖机器，能造芯片就行！等我们把芯片出口到全世界做成白菜价，阿斯麦就等着死吧，欧美的封锁也就彻底瓦解了
意思是跑一圈下来，会有各种精度的，然后再筛选分类出来，解决有没有的问题，比不上国外精度一致的，但也能有了，只是繁琐点，成本大点，但有了思路与技术积累
中国威武霸气，太聪明了！[点赞][点赞][点赞][点赞][点赞][点赞]
这属于直线加速器，往回旋加速器方向发展的话，可以小型化。先用后优也是对的。
厉害了，我的国！中国永远不缺乏聪明人[点赞][点赞][点赞]
一切皆有可能，只要脚踏实地的干，不是躺在床上摸着肚皮想。
美国的所谓狗屁制裁和芯片战略最后会失败这是毫无疑问的，一个可以建设空间站、大量建设高铁、光伏能源远远领先世界、新能源车做到了世界第一、通信技术远远领先世界的国家，会造不出高级芯片光刻机？建议美国现在开始躺平吧，反正过几年都得被中国芯片卷死，根本逃不掉。
光刻机是把光源放在光刻机里。而这个方法是把光刻机放在光源里
这几天貌似刷到最多就是说的这种路线
虽然我不懂光刻机，但是原理我看懂了[哭笑不得]
第三条就是妥妥弯道超车
这样样玩1nm都随便用
第三个路线，如能实现。水电土木配套都要全新单独设计。需要时间
这个方案牛啊，只要筛选出需要的光源然后把晶圆放光源下面配合高精度移动工件台，我们刻刀不动让晶圆动一样能刻出芯片来
相信祖国科技前行者
这样搞是不是0.1nm都是很快的节奏[得瑟]。美国佬估计惊呆了。等着芯片腰斩吧。就像固态硬盘内存一样。
大力出奇迹，我华夏地大物博，浪费点能源也比你卡我脖子强，母猪喂奶，套路不深但是靠谱[呲牙笑]
如果搞成了，大点说会干掉AMSL和其配套厂家，会让美国的封锁成为笑话。贴近生活来说，让老黄一天到晚赚黑心钱，国产雄起弄破产他。[呲牙笑][呲牙笑][呲牙笑]
美国现在应该彻底懵逼了，哇超光刻机居然还带这样玩的[裂开][笑着哭]
先解决没有的问题，再解决大小的问题。
虽然啥也看不懂，但感觉就是牛逼[笑着哭][笑着哭][点赞][点赞][点赞]
三体人列计算机既视感[笑着哭]
所以说，压力是创新的源头，那些搞不死你的都只会让你变得更强。
这是九阳神功加乾坤大挪移，六大门派全玩完了！哈哈
专业性强、感觉靠谱！
加油
抵制苹果[哭哭]
房价怎么不超车？基建大国的房价最高[滑稽笑]
操!这思路和于敏构型异曲同工啊
你想出来功劳也不是你的，也是别人的[得瑟]
只能装B不能使用的
单体空调造不了，能造中央空调？
虽然看不懂，但我觉得很厉害
懵逼树上懵逼果，懵逼树下你和我[笑着哭]
加油！[点赞][点赞][点赞]
也许靠谱，但特么特么的，显得不靠谱
我们就是不按套路出牌[笑着哭][笑着哭][笑着哭][笑着哭]
光刻机:请注意，准备弯道超车！！！ 报告:弯道已扳直，请全速前进[鼓掌][鼓掌]
高科技领域里的穷则思变，我们穷，没有高精度的光刻机，于是改变思路。华人确实聪明，天赋异禀[鼓掌]
如果成功，美国就真的要开始衰退了，这就是现在美国疯狂的原因。
成本太高，就没有工业化生产价值
满嘴特么特么。。
这属于泄密了吧
制造原理是谁泄的密？警惕!
考虑到光功率损耗了吗？
我想多了解，又怕你们说的太多了，好纠结[笑着哭][笑着哭][笑着哭][笑着哭]
房价弯道超车还差不多相信[笑着哭]！
典型的山不转路转
变通就是中国人生来具有的本性，
希望是真的。
要真能搞出来 想想都开心哦
好长时间没听到弯道超车了！
这要是搞出来就牛了，一次把欧美干躺下[笑着哭]
加油，不吃饭争口气
让我们搞成了，美国芯片企业全都要倒闭[得瑟]
现在工业皇冠上的明珠，还剩下打火机垫片[得瑟]
关键咋造出来光刻机？不要零部件都是进口的
和我一样每个字都认识，但是什么也没看懂不明觉厉的来点亮右上角大拇指。
我只想问问，生产成本hold的住吗？如果是用来做上天入地的产品，也罢，如果用来做手机，最终你会报销价格费用吗？
沿着外国佬的路线好比上华山的那条大道，人家设几个关卡就行（有专家说即使造出机器也绕不开人家专利），那还真掉进了人家设的坑里了，可现在是走小路，坐气球和直升机，坐滑索等都能上山。实际上白春礼视察长春光机所的极紫外光刻机光源样机早就报道了。
谢谢科学家，让我们的科学家能够有条件有环境制造出中国原创的高科技产品[赞][赞][赞]
相信祖国越来越强大[点赞]