超结(Superjunction)是一种特殊的MOSFET结构,通过减小导通电阻实现了更低的功耗。该技术被广泛应用于高压、低功耗领域,如600V平面VDMOS、700V超结MOSFET等。超结的制造工艺包括多层外延沉积和深沟槽刻蚀,也包括深扩散和高能注入等。此外,超结还可用于二极管等其他器件。
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