光刻机作为全球半导体产业链的核心装备之一,已经成为了牵动行业发展的关键设备。目前掌握光刻机核心技术的国家大多都在欧美,其次是日本,我国目前在第三梯队。
我国的光刻机发展,从千禧年之后创立上海微电子公司之后,才算是正式开始。
打造芯片全产业链以2000年之后的上海市为分界线,2000年之后的上海在副秘书长江上舟的带动下,开始了芯片产业的厚积薄发。江上舟通过带队去国外做演讲,以此来号召留学生和华人群体回国发展。在他的影响下,张汝京、尹志尧、王晖等人先后从美国回到了中国。
江上舟帮助张汝京在上海成立中心国际,负责闪存加工以及晶圆加工业务。帮助尹志尧成立中微半导体,主攻等离子刻蚀机项目的发展。随后又将在美国的王晖,以及他所在的盛美半导体一并挖到了中国上海。
对于芯片产业链来说,光有工厂和部分制造设备还是不够的,想要从加工厂转型为产业大国,必须要攻克光刻机这个核心项目。
于是在江上舟的带动下,上海市政府与地方单位出资,成立了上海微电子装备制造公司,负责光刻机的研发。受到上级的委派,时任上海电气总公司执行副总裁的贺荣明,担任上海微电子公司的董事长兼创始人之一。
由于当时江上舟已经身怀癌症,并且他还负责除半导体业务之外的光伏发电、新能源汽车、大飞机等多个国家重点项目,所以他没有太多的精力来主抓光刻机的发展。
于是贺荣明老总便成为了国产光刻机的核心操盘手,他在此之前就已经知道了中国和国外发达国家在精密制造业上面的差距,但是当他投身光刻机产业的时候,还是要感叹一声差距的巨大。
打造国产光刻机德国在全球工业领域当中属于强盛国家,于是贺荣明找到了德国相关企业,商谈技术合作。但是德国工程师傲慢,并且直接给贺老总扔下一句话:“就是给你们全套图纸,你们也做不出来。”
贺老总虽然气愤,但是也没办法,人家说的也是事实,当时的中国在精密工业领域的基础相当薄弱,就算有参考图纸,也不知道第一步应该从哪部分下手。
于是贺老总采用逆向思维,联合中国的高校资源,培养本土的技术工程师。在他的战略部署下,上海微电子与上海交通大学、浙江大学、华中科技大学等高校逐步开展跟光刻机有关的光学专业。并且在上学的途中,硕士生和博士生可以直接进入上海微电子进行技术实操。
并且贺荣明很重视这些技术人员,为他们的后续发展也铺设了晋升道路。除晋升管理层之外,还可以晋升公司的一级学科带头人,成为技术领域的牵头人。
2008年,上海微电子的部分项目即将被验收。这时候一家跨国公司突然袭来,用双倍的薪资挖走了一批在上海微电子的技术人员。这些被挖走的人员手中掌握着不少控制技术,也给上海微电子带来了一波震荡。
贺老总开始注重人员与技术之间的紧密关联,他建立了产品开发知识库,并且定下规矩,以后的员工每完成一个项目,就要编写技术文档,经过审查之后放入知识库。
在这种规定下,即便技术人员离职,那么由他开发的技术依然留存在公司,可以为后来的人员留下一批学习的经验。
构建专利壁垒贺荣明还想到了通过技术专利来构建强大的技术壁垒,他通过政府的支持,在国外找到了一批技术人员,这些技术人员大多都是在各相关企业工作了几十年的老工程师,在光学领域有着丰富经验。
在贺荣明的邀请下,他们经常会来到中国上海,给上海微电子的技术人员一些指导建议。并且在上海微电子内部,贺老总也组建了一批专攻专利研发的团队。
2012年,来自于欧洲的一家公司在中国大陆申请了一种光刻机的技术专利。经过上海微电子公司的团队查看,发现这项专利是欧洲公司专门为了阻碍中国光刻机发展而申请的技术专利。
贺荣明对这种专利进行了解释:
这种专利恶意扩大权利范围,使该范围内的其他技术今后无法申请专利。专利是 ‘科技领空’,不能被他国企业任意占领。
上海微电子团队立马着手解决这个问题,经过团队的分析解剖,找到了这项恶性专利的破绽。于是上海微电子向国家知识产权局提出反诉,经过部门两次调查,恶性专利的一半要求被否决。
依靠另一半有效的专利要求,上海微电子立刻将自身的专利补足了进去,将这场恶性的专利申请,变成了上海微电子的专利技术。
如今的上海微电子公司,已经在光刻机上面有了自主技术,虽然在高精度光刻机上面与海外企业的水平差距很大,但是在中国科技的发展过程中,已经算是很不错的水平了。