日本40年光刻胶垄断,对中国实施封锁,今中国光刻胶技术重大突破

以山爱科学 2024-05-21 06:21:21

光刻胶是半导体生产过程中,非常重要的一种原材料。

如今日本在光刻胶市场上,占有率非常的高,低端光刻胶占有率70%,高端光刻胶的占有率都超过了90%。

因为日本在光刻胶上的专利,是全世界最多的一个国家。

所以光刻胶也成为了日本手中的利器,一旦对一个国家实施封锁,那么这个国家的半导体行业就要遇到大麻烦了。

日本打造的这个专利壁垒,长达四十年之久,就连日本人都认为这道壁垒是坚不可摧的。

那么什么是光刻胶呢?

先来看看光刻胶的定义。

是指经过紫外光、深紫外光、电子束、离子束、X射线等光照或辐射后,溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料,是光刻工艺中的关键材料,主要应用于积体电路和分立器件的细微图形加工。

什么意思呢?

简单的说,就是在一件东西上附上一层膜,然后以各种光线为笔,在这层膜上刻画图案。

而刻画的方式有两种。

其一,光线刻画部分可溶解,没有光线刻画的地方不溶解,这个方式可以参考在画纸上画图。

这种光刻胶就被叫做正性光刻胶

其二,光线刻画的部分不溶解,溶解的反而是没有刻画的部分,这种方式同样可以刻画图案。

这种光刻胶,被叫做负性光刻胶。

其实这和石刻中的阴刻、阳刻非常的相似,只不过一个是往石头上刻,另一个是往胶上刻而已。

所以光刻胶也被行业人士叫做“微纳世界的画家”。

其实光刻胶的前置技术很早就出现了,在1826年的时候,法国人发现了一种沥青,涂满玻璃板之后,放在相机的暗盒内进行曝光,经过一些技术操作之后,就会出现一幅沥青成像画。

这种过程被叫做感光。

一说到这里,很多人就明白了,这不就是照相机吗?

确实是。

此后德国,英国在这项技术上一直钻研,并有了很大的突破。

但这个时候,仅仅是不断完善光刻胶的前置技术。

直到1925年的时候,美国的柯达公司,发现了一种混合物,在紫外光的作用下,也会出现感光性。

并将这一技术用在了光学玻璃的光栅蚀刻上,这就出现了最初的光刻胶。

所以要说,谁最先闯入光刻胶领域,应该是美国。

日本属于后来者居上。

主要原因是,在当时光刻胶出现之后,光刻胶一步步的进行完善,甚至成熟,但当时半导体领域还不怎么样,甚至是没有开发。

这就影响到了光刻胶的使用范围。

那么日本又是怎么在这个行业中,有了几乎一家独大的局面呢?

在上个世纪五六十年代的时候,日本电子产业可以说是膨胀式的发展。

日本为了匹配这种发展速度,在七八十年代,日本政府就开始进行引导半导体产业。

集中资源进行研发,这就有了后来的晶圆大口径化,高纯度硅材料等等技术的突破。

那么到了九十年代的时候,半导体行业产于的国家也越来越多,竞争也变的激烈起来。

面对这种情况,日本的半导体行业算是受到了打压,销售额也是一跌再跌。

但因为日本有之前的技术积累,尤其是在半导体材料领域中的技术,让日本在半导体材料上还能稳住。

于是在这个背景下,日本开始对半导体材料上用上了心。

再加上1989年,日本的科学家提出了极紫外光刻技术。

任何的科技,只要有理论性的东西出现,那么在这套理论的指导下,就可以掌握先机。

因为理论就是黑暗中的灯塔,他可以指明一个方向。

于是日本在光刻胶这种半导体材料中的研发,就有了一个接着一个的突破。

最终日本就用专利打造出了光刻胶的专利壁垒。

光刻胶专利壁垒的影响力

专利壁垒的打造成功,不仅仅具有经济价值,原本的低成本可以高价售出,同样可以利用专利壁垒威胁其他国家。

日本利用光刻胶的专利壁垒,就成功的打压过其他国家。

比如在2019年的时候,日本就对韩国实施过半导体材料的审查和管控。

没有了原材料,能生产出再好的产品,都要面对一个巧妇无米之炊的局面。

要知道,在当时韩国对于日本的光刻胶依赖程度是非常的高,市场占有率达到了80%。

日本的这一次管控,让韩国的三星半导体、海力士这些存储器企业,就有了停产的风险。

韩国为了摆脱这种困境,就投入了六万亿韩元的预算,推进半导体材料的研发。

在2022年的十二月底,光刻胶才突破,并引用到了芯片生产线上了。

而日本对韩国光刻胶的限制,也就在2023年三月份的时候结束了。

四年的时间,损失绝对是巨大的。

虽然日本对韩国的光刻胶的限制解除了,但韩国依然在向着更高纯度的光刻胶进行投入。

就是为了避免相同的事情再次发生。

其实对于光刻胶的管控,日本就没有放松过,在2023年的六月份,日本政府就支持过日本的产业革新投资机构,以六十四亿美元的价格收购日本最大的一家光刻胶企业。

这个事情,很多专家认为,日本想要将这家最大的光刻胶企业国有化,目的就是为了提升国际竞争力。

光刻胶在集成电路。

根据摩尔定律,集成电路每过两年左右,上面的元器件就要翻一倍。

那么用光在光刻胶上刻画,也要占据一定的空间。

所以光刻的过程中,对于光的宽度极限,已经精度都有很高的要求,因为这决定了集成电路的集成度,可靠性以及成本。

那么随着光刻的线宽不断地缩小,集成度不断地提高,光刻胶也在不断地变化着。

但长久以来,对于集成电路的刻画工艺上,只注重在了光线上,从450纳米,到现在的13.5纳米。

光线几乎到了瓶颈。

很少有人提到光刻胶。

光刻胶的低端技术就不说了,高端技术的生产工艺更为复杂,纯度的要求更高。

一个成果出来之后,想要认证,时间周期就长达两到三年。

所以后来进入到光刻胶领域的国家,困难是相当大的。

目前光刻胶技术,尤其是高端技术是掌握在两个国家手里,其一,日本,其二美国。

那么中国在2021年的时候,整体的光刻胶技术和国际上有着非常大的悬殊,自给率也就勉强达到了10%。

一瓶四公斤的光刻胶,售价在四万到五万元,也就够四百万颗芯片的使用。

四百万颗听起来数字很大,但芯片的需求量是非常巨大的,也就够一家公司五六个小时的产能。

那么一家公司进口光刻胶又是什么情况?

最开始每一次进口,也就是一百公斤,到了2021年的时候,说是原材料短缺,一次只能进口十公斤到二十公斤。

从这个数字就能看出来,光刻胶严重缺货,这就限制了集成电路的生产。

与此同时,中国的芯片发展也进入到了一个快车道时期。

不说别的,在2024年这一年里,就要有三十八个全新的300纳米晶圆厂投产。

到了年底,要将300纳米晶圆厂的市场份额提高到20%。

而这个数据,与之对应的就是光刻胶的数量。

毕竟工厂建设的再多,没有光刻胶,成品就出不了。

而且随着5G的发展,电子产品消费提升,甚至是汽车行业的一步步崛起,中国的半导体产业规模,会进一步的增长。

那么需要的光刻胶就会变的更多。

以2010年为例,光刻胶在中国的市场销售额就高达二十六亿九千万元,而到了2015年的时候,就已经增长到了五十一亿七千万。

2015年中国消费的光刻胶有十万一千吨,到了2022年的时候,已经攀升到了二十七万两千吨,是2015年的2.7倍。

所以中国对于光刻胶的需求一年比一年的多,这也就成为了半导体领域中可以被卡脖子的一个环节。

中国光刻胶的发展

从上文就能看出来,早在2021年的时候,中国的光刻胶使用了就有了问题。

但这个问题是暂时的。

怎么解决的呢?

其实中国很早就开始制造光刻胶了,比如晶瑞股份,这是一家已经生产光刻胶三十年的公司,目前已经拥有了达到国际先进水平的光刻胶生产线。

比如说在2016年就开始立项开发高端光刻胶,后期推荐给客户进行验证。

只是进行小批量的生产和销售。

进口的量变小了,但需求还变大了,所以国内的光刻胶就有了空间。

其实关于光刻胶制造企业,不仅仅有晶瑞股份,还有其他的企业,比如2017年,南大光电启动193纳米光刻胶的研发,以及产业化推广。

而且在2020年底的时候,研发的ArF光刻胶成功的通过了客户验证。

这款光刻胶也成为了国内第一只国产ArF光刻胶。

所以在光刻胶领域,中国的技术也是在不断地更新进步,比如2021年投产的光刻胶就可以满足90纳米到14纳米的工艺制程。

这种光刻胶年产量可以达到二十五吨。

在光刻胶的领域中,中国也在奋起直追,弯道超车也不是不可能得。

高端光刻胶也是不在话下。

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以山爱科学

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