谈到市场规模，2023年的中国光刻机市场已经达到了168亿元的庞大体量。随着国内半导体产业的持续高速发展，这个市场规模仍在不断扩张之中。这无疑表明，中国对于光刻机的需求依然旺盛而迫切。
此外，中国还公开了一款采用氟化氩技术的光刻机，其分辨率低于65nm，套刻精度小于8nm，这一成果有望在28nm的部分工艺中得到应用。这些进展无疑都是国产光刻机在自主创新道路上的重要里程碑。
中国光刻机当前状况曝光，华为机皇价比百元机刷新感人记录！
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