微导纳米:ALD设备已在集成电路制造前道生产线实现量产,取得客户重复订单

金融界 2024-09-06 16:26:41

金融界9月6日消息,有投资者在互动平台向微导纳米提问:您好,请问公司ALD设备在FAB厂商的验证和应用情况如何,半导体领域的在手订单中有多少是ALD,有多少是CVD的。

公司回答表示:公司是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积(ALD)设备应用于集成电路制造前道生产线的国产设备厂商,ALD产品既有批量型也有单片型,单片型ALD设备已获得多种工艺设备的重复订单并获得部分客户的验收;批量型ALD已取得客户验收,实现产业化应用,并取得重复订单。公司在保持ALD设备领先优势的同时,加速推广CVD产品,该系列部分产品在2023年7月首台设备出货后,目前已经取得客户批量重复订单,客户端验证顺利。

本文源自:金融界AI电报

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