金融界2024年11月8日消息，国家知识产权局信息显示，湖南红太阳光电科技有限公司申请一项名为“远程等离子体清洗设备及清洗方法”的专利，公开号CN118904829A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明公开了一种远程等离子体清洗设备及清洗方法，清洗设备包括清洗腔室、腔门、第一远程等离子体源、第二远程等离子体源和真空单元，第一远程等离子体源和第二远程等离子体源分别与清洗腔室的第一端和第二端连接，清洗腔室的第一端和第二端分别设有第一抽真空口和第二抽真空口，第一抽真空口和第二抽真空口与真空单元连接。该设备利用两个远程等离子体源与两个抽真空口配合，实现正向、方向交替进气和抽气的多次循环清洗，清洗速度快、均匀性好、效率高，且气耗量低，成本低。本发明采用炉口进气炉尾抽气和炉尾进气炉口抽气的循环清洗方法，可有效提高较长载具的清洗均匀性和清洗速率，提高载具流转速度，减少过度刻蚀，降低含氟气体用量。
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