金融界2024年11月15日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“用于半导体工艺设备的晶片调度序列确定方法及电子设备”的专利，公开号CN118943050A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本申请提供了一种用于半导体工艺设备的晶片调度序列确定方法及电子设备，所述方法通过获取半导体工艺设备的目标调度模型的当前状态，目标调度模型的状态包括各库所的令牌数以及半导体工艺设备的各工艺腔室中多工位旋转工艺腔室的位置向量，位置向量包括多工位旋转工艺腔室的各工位中的晶片数量，在晶片调度序列未确定完成时，获取各候选变迁对应的目标数据，目标数据包括在当前状态下执行候选变迁后目标调度模型的后继状态和位置向量的返回值，返回值包括位置向量的目标位在变化前的值，并基于各目标数据确定当前时刻的目标变迁，以及，将目标变迁添加至半导体工艺设备的晶片调度序列，保证了晶片调度序列的生成效率以及晶片调度序列的有效性。
本文源自：金融界
