金融界2024年11月15日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“工艺槽装置及半导体工艺设备”的专利，公开号CN118943052A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本发明提供一种工艺槽装置及半导体工艺设备，该工艺槽装置包括工艺槽体、防护壳体和位置调节结构，其中，防护壳体构成有顶部具有开口的容置空间，工艺槽体至少部分设置于容置空间中；位置调节结构设置于防护壳体背离容置空间的外侧，用于在将防护壳体安装于固定模块本体的情况下，调节并限定防护壳体相对于固定模块本体的位置。本发明提供的工艺槽装置及半导体工艺设备，可以在工艺槽体存放、安装及位置调节过程中，降低工艺槽体破损风险。
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