金融界2024年11月16日消息，国家知识产权局信息显示，无锡邑文微电子科技股份有限公司和江苏邑文微电子科技有限公司取得一项名为“一种进气装置及刻蚀设备”的专利，授权公告号CN118762981B，申请日期为2024年9月。
本文源自：金融界
邑文微电子取得一种进气装置及刻蚀设备专利
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