金融界2024年11月16日消息，国家知识产权局信息显示，无锡先为科技有限公司取得一项名为“一种尾气排放装置及晶圆生长设备”的专利，授权公告号CN222008177U，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本申请一种尾气排放装置及晶圆生长设备，属于半导体制造技术领域，包括清洁装置及连通排气口和清洁装置的排气管路，清洁装置被配置为能够对晶圆生长设备排出的气体进行无害化处理；排气管路包括第一管路，设有进气口和供气口，供气口用于供清洁气体输入第一管路；第二管路，能够连通排气口及进气口，第二管路分别相对于排气口及进气口可拆卸设置；第三管路，连接供气口及至少一种清洁气体源；至少一个限止件，能够限止第一管路外的气体通过进气口进入第一管路。本申请通过使排气管路与晶圆生长设备分离，可单独清洗第二管路并通过清洁气体清洁第一管路，清洁过程排气管路独立于晶圆生长设备，避免影响晶圆生长设备，降低清洁维护操作的难度。
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