金融界2024年11月27日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“用于半导体工艺设备的尾气排放装置及半导体工艺设备”的专利，公开号CN119020856A，申请日期为2023年5月。
专利摘要显示，本发明公开了一种用于半导体工艺设备的尾气排放装置及半导体工艺设备，该装置包括：加热装置，加热装置沿环形对接件的周向设置于环形对接件的外壁，加热装置用于对尾气出口28处的工艺尾气进行加热；排气管，排气管的第一端与尾气出口连接；抽气装置，抽气装置与排气管的第二端连接。本发明能够防止副产物在尾气口沉积，提高工艺质量。
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