金融界2024年11月27日消息，国家知识产权局信息显示，苏州飞时曼精密仪器有限公司申请一项名为“一种三轴闭环控制的AFM扫描头及原子力显微镜”的专利，公开号CN119024007A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本发明属于针尖扫描式原子力显微镜技术领域，具体提供一种三轴闭环控制的AFM扫描头及原子力显微镜，所述AFM扫描头包括壳体、激光光源模块、XYZ三轴压电陶瓷管扫描模块、四象限接收信号模块和XYZ三轴传感器闭环检测模块，所述激光光源模块、XYZ三轴压电陶瓷管扫描模块、四象限接收信号模块和XYZ三轴传感器闭环检测模块均对应位于壳体内部所述XYZ三轴传感器闭环检测模块对应安装于XYZ三轴压电陶瓷管扫描模块上，所述XYZ三轴传感器闭环检测模块与控制系统对应连接；工作时，利用XYZ三轴传感器闭环检测模块检测扫描时的位移量，并反馈给控制系统，经控制系统处理并比较后，根据比较结果进行补偿。本发明能有效提高检测时的精度与响应速度，实用性强。
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