金融界2024年11月30日消息，国家知识产权局信息显示，苏州皓申智能科技有限公司取得一项名为“一种半自动显影装置”的专利，授权公告号CN222071053U，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种半自动显影装置，包括工作台，所述工作台上的开槽内滑动连接有显影柜，所述显影柜内设有用于装载显影液的显影槽，所述工作台上还连接有驱动机构，所述驱动机构包括固定连接于工作台上的驱动源，所述驱动源输出端上固定连接有转盘，所述转盘上设有调节机构，所述工作台上与显影柜相对的一面上固定设有多个弹簧，所述转盘带动调节机构转动，所述显影柜在转盘和弹簧的共同作用下，沿工作台做往复直线运动。通过设置的驱动机构，驱动源带动转盘转动，从而使得显影柜内的显影液来回移动，晶圆表面的光刻胶与显影液反应，并且带走反应后的显影液，使得晶圆上的光刻胶完全反应。
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