金融界2024年12月5日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市神州天柱科技有限公司申请一项名为“旋转式物料清洗机构及半导体等离子清洗机”的专利，公开号CN119069391A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本申请涉及半导体物料清洗装置技术领域，具体提供旋转式物料清洗机构及半导体等离子清洗机，旋转式物料清洗机构包括旋转托盘机构和旋转驱动机构，旋转托盘机构包括转轴板、旋转框架和载台板，转轴板为对称四边形结构，中部开设有轴承孔，旋转框架安装于转轴板的四周，旋转框架上设有以轴承孔为中心阵列设置的至少四个载台板安装区；旋转驱动机构包括驱动装置、堵头和轴承，轴承安装于轴承孔内，堵头一端安装于轴承的内孔，另一端与驱动装置传动连接。本申请通过旋转驱动机构带动旋转托盘机构转动，实现上/下料和清洗的作业位交替切换，清洗作业可以和上/下料作业同时进行，无需等待物料运输至清洗位，有效提升了半导体物料清洗的作业效率。
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