金融界2024年12月7日消息，国家知识产权局信息显示，浙江晶盛机电股份有限公司取得一项名为“重复定位精度测量装置及光学检测设备”的专利，授权公告号CN222104584U，申请日期为2024年4月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种重复定位精度测量装置及光学检测设备，涉及晶圆的检测技术领域。该重复定位精度测量装置包括支撑架、位置调节机构和检测组件；位置调节机构通过支撑架架设于待测件的上方，位置调节机构包括Y向调整基板和三个X向调整基板，三个X向调整基板分别与Y向调整基板可移动连接，以使三个X向调整基板在Y向调整基板上的位置均可调。检测组件包括三个检测件，三个检测件一一对应地可移动设置于三个X向调整基板上以使三个检测件能分别位于第一测量点的上方第二测量点的上方和第三测量点的上方，待测件上升能使三个检测件分别与第一测量点、第二测量点和第三测量点接触，以对测量平面的重复定位精度进行检测。
本文源自：金融界
