金融界2024年12月7日消息，国家知识产权局信息显示，长飞光纤光缆股份有限公司申请一项名为“一种PCVD工艺均匀沉积系统及方法”的专利，公开号CN119082712A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明涉及一种PCVD工艺均匀沉积系统及方法，包括有同轴对应安设在床身两侧的旋转密封夹头，两侧的旋转密封夹头与同步旋转驱动装置相连，在两个旋转密封夹头之间设置有微波谐振腔，微波谐振腔安设在保温炉中，所述的微波谐振腔通过波导伸出加热炉与微波发生装置及轴向往复装置相联，所述的两个旋转密封夹头包括进气旋转密封夹头和排气旋转密封夹头，其特征在于所述的微波发生装置包括有固态微波源电源和固态微波源，所述的固态微波源输出端通过循环器与波导管连接。本发明通过调节输出微波的频率来动态实时调节谐振腔的沉积功率，实现了微波频率沿衬管轴向可调控性，来控制轴向区域反应吸收功率，控制气相反应沉积，从而提高衬管沉积的轴向均匀性。
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