金融界2024年12月7日消息，国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“加热炉和半导体沉积系统”的专利，公开号CN119082703A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本申请公开了加热炉和半导体沉积系统。加热炉包括保温管和工艺管。保温管套设于工艺管外周。其中，工艺管与保温管之间间隔形成有导热空间，导热空间内间隔排列设置有加热件。加热炉还包括至少两个出气组和分别与出气组一一对应的至少两个进气管道。每个出气组包括至少一个出气管道，出气管道分别设置于相邻的加热件之间，出气管道具有与导热空间连通的出气孔。同一出气组中的出气管道分别与同一进气管道连通。通过上述方式，本申请加热炉能够通过进气管道和出气组有效地对加热炉的温度进行分区控制。
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