金融界2024年12月10日消息，国家知识产权局信息显示，江苏卓胜微电子股份有限公司取得一项名为“一种光刻胶供给系统”的专利，授权公告号CN222117826U，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本实用新型涉及半导体制造技术领域。本实用新型提供一种光刻胶供给系统和光刻胶供给方法。光刻胶供给系统，包括：供应装置，适于承载光刻胶瓶；供应装置具有容量检测组件，适于实时检测正在供应光刻胶的光刻胶瓶的剩余容量；供应装置还具有供应信息处理组件，适于向储存装置发送剩余容量信息；储存装置，远离供应装置设置，适于存储封装有不同类型的光刻胶的光刻胶瓶；储存装置具有储存信息处理组件，适于接收供应信息处理组件发送的剩余容量信息，根据剩余容量信息提供剩余容量不足的光刻胶瓶对应的光刻胶类型的光刻胶瓶；运输装置，适于接收储存装置提供的光刻胶瓶，并运输至供应装置。本实用新型可以对容量不足的光刻胶瓶进行及时更换。
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