金融界2024年12月12日消息，国家知识产权局信息显示，江苏格微晶智能科技有限公司申请一项名为“一种用于光刻机上的真空检测装置”的专利，公开号CN119105243A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明公开了直写光刻机吸盘技术领域的一种用于光刻机上的真空检测装置，包括底座，所述底座的顶部左右两侧固定连接有支撑板，所述支撑板的内侧壁上侧之间固定连有安装板，所述安装板的底部左右两侧固定连接有液压装置，所述液压装置的底端之间固定连接有连接板，所述连接板的底部左右两侧固定连接有定位块，所述定位块的内侧壁之间固定连接有电动滑轨，所述电动滑轨的外侧壁滑动连接有电动滑块，所述电动滑块的底部固定连接有真空检测装置，所述底座的顶部开有滑动槽，该用于光刻机上的真空检测装置，结构设计合理，可以对不同大小的掩膜版进行限位，便于对其进行真空检测，实用性较好，也可以对掩膜版进行保护，防止其受损。
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