金融界2024年12月13日消息，国家知识产权局信息显示，广东先导元创精密科技有限公司申请一项名为“等离子源以及等离子体设备”的专利，公开号CN119110475A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，提供一种等离子源以及等离子体设备。等离子源包括上盖、绝缘壳体、绝缘介质柱体、电容电极片以及电感线圈。上盖密封固定在绝缘壳体上，上盖具有进气道；绝缘壳体具有中空腔；绝缘介质柱体占据中空腔的靠近上盖的位置以使中空腔的位于绝缘介质柱体背离上盖的部分为整体腔部，绝缘介质柱体具有多个通孔，各通孔连通于进气道和整体腔部；电容电极片设置于绝缘介质柱体以在各通孔处形成电容，所述电容用于使经由进气道进入的工艺气体在各通孔处形成的电容中产生电容耦合等离子体、电容耦合等离子体排出到整体腔部；电感线圈对应整体腔部、用于使从排出到整体腔部中的电容耦合等离子体电感耦合。等离子体设备包括工艺腔体以及前述的多个等离子源。
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