广东长信精密设备公司取得一种单晶炉装置专利,避免晶体缺陷便于生长大尺寸低位错晶体

金融界 2024-12-14 12:43:51

金融界2024年12月14日消息,国家知识产权局信息显示,广东长信精密设备有限公司取得一项名为“一种单晶炉装置”的专利,授权公告号CN222139345U,申请日期为2023年12月。

专利摘要显示,本实用新型涉及半导体材料技术领域,公开了一种单晶炉装置,包括炉体、石英罩和加热器,所述炉体的上端设有丝杆提升机,所述炉体的内部的底端可滑动地设有底座,所述石英罩支撑于所述底座上,并与所述底座之间形成一密闭空间;所述密闭空间内设有外坩埚,所述外坩埚内密封有内坩埚和坩埚托,所述坩埚托包括导热系数不同的第一导热部和第二导热部,所述第一导热部支撑所述内坩埚的放肩部位,所述第二导热部支撑第一导热部;所述加热器套设在所述石英罩的外侧,并连接所述丝杆提升机的丝杆。本实用新型提供的单晶炉装置,避免了由于机械扰动带来的晶体缺陷,减小了生长界面温度梯度,且晶体生长界面为凸界面,便于生长较大尺寸的低位错晶体。

本文源自:金融界

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