金融界2024年12月16日消息，国家知识产权局信息显示，上海高笙集成电路设备有限公司申请一项名为“一种等离子水洗式尾气处理系统”的专利，公开号CN119113741A，申请日期为2024年1月。
专利摘要显示，本发明涉及尾气处理设备技术领域，具体涉及一种等离子水洗式尾气处理系统，包括主腔体、等离子发生器、冷却腔体、排水箱、多级分离塔以及清理装置；采用等离子电弧的方式对需要处理的制程气体进行分解，然后再多级冷却和喷淋，将处理后的尾气中可溶于水的气体进行溶解，随废水排出，其他的气体再进入多级分离塔，进行水汽分离，直至符合条件后排出；尾气处理效率高，处理效果好。同时通过在进气管中设置有清理装置，尤其是在靠近进气管折弯处，可以在长期使用过程中进气管内累积的杂质进行清理，使用更加方便，减少对制程气体处理效果的影响。通过后续多级冷却以及多级水汽分离，对气体进行进一步处理，水汽分离彻底，改善尾气处理效果。
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